[发明专利]显示面板的制备方法在审
申请号: | 202110812792.2 | 申请日: | 2021-07-19 |
公开(公告)号: | CN113629217A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 匡友元 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 邓敬威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 制备 方法 | ||
本申请实施例提供一种显示面板的制备方法;该制备方法通过在衬底基板的第一侧形成第一发光功能部,其次在衬底基板与第一侧相对的第二侧形成牺牲层,以及在牺牲层上设置卡盘,以使卡盘与牺牲层粘合,然后在第一发光功能部上形成第二发光功能部,最后将卡盘与衬底基板分离;上述显示面板的制备方法通过物理或者化学手段改变牺牲层的特性,使牺牲层与衬底基板脱离,避免了对衬底基板进行运载时采用等离子表面处理工艺而导致对显示面板的部分发光功能层产生损伤,解决了大尺寸显示面板因为基板下垂引起的破片、显示亮度不均匀等问题,提升了显示面板的良率。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种显示面板的制备方法。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)作为新一代的固态自发光显示技术,相较于液晶显示具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势,近几年产业化速度突飞猛进。
目前OLED发光器件的制造工艺主要是采用蒸镀工艺,在中小尺寸的OLED面板蒸镀工艺中,直接采用机械手搬运基板,此时基板的下垂量可控,不需要辅助治具。然而,如图1所示,在大尺寸OLED基板蒸镀制造过程中,采用卡盘吸附固化胶103的方式对设置有OLED部分功能层102的基板101进蒸镀段前进行运载时,为保证基板与卡盘的黏合强度,需要对基板背面做清洁处理,目前一般采用等离子表面处理工艺,但是此时基板在蒸镀前已完成部分发光功能层的制作,等离子表面处理工艺不仅对基板背面有清理作用,同也会对基板正面(成膜面)产生损伤,进而影响显示面板的发光效果。
因此,亟需一种显示面板的制备方法以解决上述技术问题。
发明内容
本申请实施例提供一种显示面板的制备方法,以改善当前显示面板在对基板进行蒸镀时部分发光功能层受损的技术问题。
本申请实施例提供一种显示面板的制备方法,所述方法包括:
在衬底基板的第一侧形成第一发光功能部;
在所述衬底基板与所述第一侧相对的第二侧形成牺牲层;
在所述牺牲层上设置卡盘,以使所述卡盘与所述牺牲层粘合;
在所述第一发光功能部上形成第二发光功能部;
将所述卡盘与所述衬底基板分离。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述在所述牺牲层上设置卡盘,所述卡盘与所述牺牲层粘合的步骤还包括:
在所述牺牲层上远离所述衬底基板的一侧形成胶粘层;
对所述胶粘层进行层压或热压处理;
在所述胶粘层上设置卡盘,所述卡盘与所述胶粘层粘合。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述牺牲层的材料包括光感聚合物或者热感聚合物,所述胶粘层的材料包括醛类化合物。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述牺牲层的材料包括酚醛聚合物。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述将所述卡盘与所述衬底基板分离的步骤还包括:
采用第一光线对所述牺牲层进行光照处理,使所述牺牲层解离;
将所述卡盘与所述衬底基板分离。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述第一光线的波长为400nm。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述将所述卡盘与所述衬底基板分离的步骤还包括:
采用热辐射对所述牺牲层进行处理,使所述牺牲层的粘合强度下降;
将所述卡盘与所述衬底基板分离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择