[发明专利]真空用气系统泄漏测量装置在审
| 申请号： | 202110811663.1 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113514209A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 张哲;李晓明;肖宁宁 | 申请（专利权）人： | 山东科技职业学院 |
| 主分类号： | G01M3/34 | 分类号： | G01M3/34;G01M3/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261053 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 系统 泄漏 测量 装置 | ||
1.一种真空用气系统泄露测量装置，其特征在于，包括传感器、调节阀和控制系统，所述传感器包括流量传感器和压力传感器，且所述流量传感器和压力传感器位于调节阀两侧，所述流量传感器和压力传感器均连接控制系统；
所述流量传感器和压力传感器均通过真空罐连接真空气源，且所述传感器和真空气源位于真空罐两侧；
所述控制系统包括若干控制按键、控制芯片和显示装置，所述控制按键通过控制芯片连接显示装置，且所述控制芯片内部设有分析系统。
2.根据权利要求1所述的真空用气系统泄露测量装置，其特征在于，所述调节阀为压力调节阀，且所述压力调节阀上安装有报警装置。
3.根据权利要求1所述的真空用气系统泄露测量装置，其特征在于，所述真空气源与真空罐之间安装有导向阀门，且所述导向阀门为双向阀。
4.根据权利要求1所述的真空用气系统泄露测量装置，其特征在于，所述控制按键连接导入单元和记忆单元。
5.根据权利要求1所述的真空用气系统泄露测量装置，其特征在于，所述控制芯片内还安装有存储单元和辨别单元。
6.根据权利要求1所述的真空用气系统泄露测量装置，其特征在于，所述分析系统包括数据单元、对比单元、计算单元和输出单元。
7.根据权利要求6所述的真空用气系统泄露测量装置，其特征在于，所述计算单元包括输入归纳单元、记忆方程单元、计算运行单元和若干排列单元。
8.根据权利要求1所述的真空用气系统泄露测量装置，其特征在于，所述显示装置包括显示屏和若干输入端口。
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