[发明专利]一种多腔体CVD设备分布式控制系统及其方法

权利要求书

1.一种多腔体CVD设备分布式控制系统，其特征在于，包含：

多个工控设备，各个工控设备分别保存各个功能腔体的数据信息并分别控制各个功能腔体的状态；

第一交换机，各个工控设备与所述第一交换机连接；

控制主机，与所述第一交换机连接，所述控制主机存储全局公共数据，所述控制主机通过第一交换机对各个工控设备进行命令调度和数据存储，当工艺需要的一个或多个工控设备发生故障，所述控制主机将所需的故障的工控设备的数据信息复制安装到正常运转的工控设备上，并执行其对应的工艺过程。

2.如权利要求1所述的多腔体CVD设备分布式控制系统，其特征在于，还包含：

显示交互模块，其通过第一交换机与所述控制主机连接，所述显示交互模块用于用户对各个功能腔体状态的监控，所述显示交互模块还用于编辑控制主机对工控设备的命令调度。

3.如权利要求1所述的多腔体CVD设备分布式控制系统，其特征在于，

所述控制主机和各个所述工控设备的数据信息存储于数据库中，当工控设备发生故障时，所述控制主机将对应工控设备的数据信息从数据库中复制安装到另一台工控设备上，并执行其对应的工艺过程。

4.如权利要求1所述的多腔体CVD设备分布式控制系统，其特征在于，

各个工控设备设置于一台计算机或多台计算机上。

5.如权利要求1所述的多腔体CVD设备分布式控制系统，其特征在于，还包含：

远程控制模块，其与所述控制主机连接，所述远程控制模块用于远程控制监控所述控制主机对各个工控设备的命令调度以及各个功能腔体的状态。

6.如权利要求5所述的多腔体CVD设备分布式控制系统，其特征在于，

所述远程控制模块和所述控制主机之间采用路由器建立网络连接和网络安全隔离。

7.如权利要求5所述的多腔体CVD设备分布式控制系统，其特征在于，

所述控制主机和所述远程控制模块之间的通信采用TCP/IP通讯协议。

8.一种如权利要求1～7任一项所述的多腔体CVD设备分布式控制系统的控制方法，其特征在于，包含：

各个工控设备控制各个腔体进行工艺进程；

当一个或多个工控设备发生故障时，控制主机将故障工控设备的数据信息复制安装到另一台工控设备上，并执行数据信息对应的工艺过程。

9.如权利要求8所述的多腔体CVD设备分布式控制系统的控制方法，其特征在于，

当工控设备发生故障时，所述控制主机从数据库中将故障工控设备的数据信息复制安装到另一台工控设备上，并执行其对应的工艺过程。

10.如权利要求8所述的多腔体CVD设备分布式控制系统的控制方法，其特征在于，

通过显示交互模块对各个功能腔体的状态进行实时监控，根据显示交互模块的实时数据，所述显示交互模块还用于编辑控制主机对工控设备的命令调度。

11.如权利要求8所述的多腔体CVD设备分布式控制系统的控制方法，其特征在于，

通过远程控制模块远程控制监控所述控制主机对各个工控设备的命令调度以及各个功能腔体的状态。