[发明专利]一种靶材组件中间层的清洗方法

权利要求书

1.一种靶材组件中间层的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：

(1)将待清洗中间层依次采用有机溶剂和水进行超声波清洗；

(2)将步骤(1)处理后的中间层进行鼓泡酸洗；

(3)将步骤(2)处理后的中间层再次进行超声波水洗，干燥后得到清洗后的靶材组件中间层。

2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，步骤(1)所述中间层的材质包括钛；

优选地，步骤(1)所述中间层的形状包括圆盘形；

优选地，步骤(1)所述中间层的厚度为2.6～3.5mm。

3.根据权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，步骤(1)所述有机溶剂包括异丙醇、乙醇或煤油中任意一种或至少两种的组合；

优选地，步骤(1)所述超声波清洗时超声波的频率为42～60kHz；

优选地，步骤(1)所述超声波清洗的温度为15～25℃；

优选地，步骤(1)采用有机溶剂和水进行超声波清洗的时间独立地为3～6min。

4.根据权利要求1-3任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(2)所述鼓泡酸洗所用的酸包括硝酸和/或氢氟酸；

优选地，步骤(2)所述鼓泡酸洗的温度为30～35℃；

优选地，步骤(2)所述鼓泡酸洗的时间为1～3min。

5.根据权利要求1-4任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(2)所述鼓泡酸洗过程中向酸洗液中通入气体；

优选地，所述通入的气体包括压缩空气；

优选地，步骤(2)所述鼓泡酸洗完成后，将中间层置于水中浸泡水洗；

优选地，所述浸泡水洗的时间为4～6min。

6.根据权利要求1-5任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(3)所述超声波水洗的次数至少为1次，优选为2～3次；

优选地，步骤(3)所述超声波水洗时超声波的频率为42～60kHz；

优选地，步骤(3)所述超声波水洗的温度为15～25℃；

优选地，步骤(3)所述超声波水洗的总时间为10～20min。

7.根据权利要求1-6任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(3)所述干燥依次包括吹扫干燥和真空干燥；

优选地，所述吹扫干燥采用压缩气体对中间层进行吹扫；

优选地，所述压缩气体包括惰性气体和/或氮气；

优选地，所述压缩气体的压力为1～5kPa；

优选地，所述吹扫干燥的时间为4～6min。

8.根据权利要求7所述的清洗方法，其特征在于，所述真空干燥的温度为60～100℃；

优选地，所述真空干燥的压力为-0.09～-0.1MPa；

优选地，所述真空干燥的时间为40～90min。

9.根据权利要求1-8任一项所述的清洗方法，其特征在于，所述中间层清洗完成后进行检测、包装；

优选地，所述检测包括对清洗后的中间层进行纯度检测；

优选地，所述包装为对清洗后的中间层进行真空包装。

10.根据权利要求1-9任一项所述的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：

(1)将待清洗中间层依次采用有机溶剂和水进行超声波清洗，所述中间层的材质包括钛，所述中间层的厚度为2.6～3.5mm，所述有机溶剂包括异丙醇、乙醇或煤油中任意一种或至少两种的组合，所述超声波清洗时超声波的频率为42～60kHz，温度为15～25℃，采用有机溶剂和水进行超声波清洗的时间独立地为3～6min；

(2)将步骤(1)处理后的中间层进行鼓泡酸洗，所述鼓泡酸洗所用的酸包括硝酸和/或氢氟酸，所述鼓泡酸洗的温度为30～35℃，时间为1～3min，鼓泡酸洗过程中向酸洗液中通入气体，完成后将中间层置于水中浸泡水洗4～6min；

(3)将步骤(2)处理后的中间层再次进行超声波水洗，所述超声波水洗的次数至少为1次，超声波的频率为42～60kHz，温度为15～25℃，总时间为10～20min，然后依次进行吹扫干燥和真空干燥，所述吹扫干燥采用压缩气体对中间层进行吹扫，所述压缩气体的压力为1～5kPa，吹扫干燥的时间为4～6min，所述真空干燥的温度为60～100℃，压力为-0.09～-0.1MPa，时间为40～90min，得到清洗后的靶材组件中间层。