[发明专利]一种晶片激光打标设备的物料传递系统

说明书

本发明提供了一种晶片激光打标设备的物料传递系统，它包括主框架和安装其上的卡塞盒机械手、晶片机械手、真空系统、机械手动力系统和计算机，真空系统包括真空泵、主线真空管路、支线真空管路、真空阀；卡塞盒机械手包括滑动装置、卡塞盒升降臂、卡塞盒旋转臂和卡塞盒吸盘；晶片机械手包括晶片升降臂、晶片旋转臂和晶片吸盘；真空泵输出端通过主线真空管路与真空阀输入端连接，真空阀输出端通过支线真空管路分别与各个卡塞盒吸盘及晶片吸盘连接；机械手动力系统包括平移电机、卡塞盒升降电机、卡塞盒旋转电机和晶片升降电机、晶片旋转电机。本发明可实现大批量晶片自动化打标，代替人工上下料操作，提升晶片打标效率和打标一致性，并显著降低人工成本。

技术领域

本发明涉及一种晶片激光打标设备的物料传递系统，具体涉及一种蓝宝石晶片激光打标设备的物料自动传递系统。

背景技术

蓝宝石的组成为氧化铝(Al₂O₃)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。它常被应用的切面有A-Plane，C-Plane及R-Plane。由于蓝宝石的光学穿透带很宽，从近紫外光到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上，它具有耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性等特点，因此常被用来作为光电元件的材料，同时也成为工业中一种重要的基础材料。

蓝宝石晶片激光打标是利用高能量密度的激光对晶片表面局部照射，使表层材料汽化或发生颜色变化的化学反应，从而留下永久性标记的一种打标方法。激光打标可以打出各种文字、符号和图案等，字符大小可以从毫米到微米量级。

激光打标技术作为一种现代精密加工方法,与腐蚀,电火花加工,机械刻划,印刷等传统的加工方法相比,具有很大的优势：首先，采用激光做加工手段,与晶片之间没有加工力的作用,具有无接触,无切削力,热影响小的优点,保证了晶片的原有精度。其次，激光加工和传统的丝网印刷相比，没有污染源，是一种清洁无污染的高环保加工技术。

随着蓝宝石产品生产技术的持续发展，各应用领域市场对蓝宝石产品的需求量不断提高，各蓝宝石厂家必须提高自动化水平，以实现高效率生产均一性和稳定性良好的蓝宝石晶片，同时降低人工成本。目前激光打标设备的物料供应和晶片摆放主要由人工操作，导致打标准确性、一致性以及打标效率较低，因此，需要一种能够为晶片激光打标设备自动供应和摆放物料的系统。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可以代替晶片激光打标设备的人工上、下料操作，解决人工操作晶片供应慢、打标一致性和打标效率低问题的晶片激光打标设备的物料传递系统。

本发明的目的是这样实现的，它包括主框架和安装其上的卡塞盒机械手、晶片机械手、真空系统、机械手动力系统和计算机，真空系统包括真空泵、主线真空管路、支线真空管路、真空阀；卡塞盒机械手包括滑动装置、卡塞盒升降臂、卡塞盒旋转臂和卡塞盒吸盘；晶片机械手包括晶片升降臂、晶片旋转臂和晶片吸盘；真空泵输出端通过主线真空管路与真空阀输入端连接，真空阀输出端通过支线真空管路分别与各个卡塞盒吸盘及晶片吸盘连接；机械手动力系统包括平移电机、卡塞盒升降电机、卡塞盒旋转电机和晶片升降电机、晶片旋转电机；平移电机与卡塞盒机械手的滑动装置连接，卡塞盒升降电机与卡塞盒升降臂连接，晶片升降电机与晶片升降臂连接，卡塞盒旋转电机与卡塞盒旋转臂连接，晶片旋转电机与晶片旋转臂连接；主线真空管路、真空阀、计算机、滑动装置和支线真空管路均安装于主框架上，主线真空管路与真空泵和真空阀连接；计算机分别与真空阀、平移电机、升降电机和旋转电机连接。

本发明还有这样一些特征：

1. 所述的卡塞盒机械手根据计算机程序设定，按物料箱内卡塞盒摆放位置和次序逐一转运卡塞盒。

2. 所述的真空阀分别单独控制各个机械手的支线真空管路，通过制主线真空管路与各个机械手支线真空管路间的接通与离断，实现卡塞盒吸盘及晶片吸盘对物料的拾取与放置。