[发明专利]一种晶片激光打标设备的物料传递系统

权利要求书

1.一种晶片激光打标设备的物料传递系统，其特征在于它包括主框架和安装其上的卡塞盒机械手、晶片机械手、真空系统、机械手动力系统和计算机，真空系统包括真空泵、主线真空管路、支线真空管路、真空阀；卡塞盒机械手包括滑动装置、卡塞盒升降臂、卡塞盒旋转臂和卡塞盒吸盘；晶片机械手包括晶片升降臂、晶片旋转臂和晶片吸盘；真空泵输出端通过主线真空管路与真空阀输入端连接，真空阀输出端通过支线真空管路分别与各个卡塞盒吸盘及晶片吸盘连接；机械手动力系统包括平移电机、卡塞盒升降电机、卡塞盒旋转电机和晶片升降电机、晶片旋转电机；平移电机与卡塞盒机械手的滑动装置连接，卡塞盒升降电机与卡塞盒升降臂连接，晶片升降电机与晶片升降臂连接，卡塞盒旋转电机与卡塞盒旋转臂连接，晶片旋转电机与晶片旋转臂连接；主线真空管路、真空阀、计算机、滑动装置和支线真空管路均安装于主框架上，主线真空管路与真空泵和真空阀连接；计算机分别与真空阀、平移电机、升降电机和旋转电机连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶片激光打标设备的物料传递系统，其特征在于所述的真空阀分别单独控制连接卡塞盒吸盘及晶片吸盘的支线真空管路，通过主线真空管路与各个支线真空管路间的接通与离断，实现卡塞盒吸盘及晶片吸盘对物料的拾取与放置。

3.根据权利要求2所述的一种晶片激光打标设备的物料传递系统，其特征在于所述的卡塞盒机械手按工作方式分为卡塞盒供料机械手和卡塞盒卸料机械手。

4.根据权利要求3所述的一种晶片激光打标设备的物料传递系统，其特征在于所述的计算机输出端分别与真空阀输入端、平移电机输入端、升降电机输入端和旋转电机输入端连接。