[发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种曝光装置，经由投影光学系统对物体照射照明光，将该物体曝光，该曝光装置具备：

框架构件，支承该投影光学系统；

物体保持装置，保持该物体；

驱动部，使该物体保持装置往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；

第1测量系统，具有：第1格子构件，包含该第1及第2方向的测量成分，于该第1方向多个第1格子区域彼此分离配置，且于该第2方向与该多个第1格子区域分离配置的多个第2格子区域于该第1方向彼此分离配置；以及多个第1读头，一边相对该第1格子构件往该第1方向移动，一边分别对该第1格子构件照射测量光束，该第1格子构件与该多个第1读头中的一方设于该物体保持装置，该第1格子构件与该多个第1读头中的另一方以与该物体保持装置对向的方式被设于该驱动部，以该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个格子区域的至少3个读头，测量于该第1方向的该物体保持装置相对于该驱动部的位置信息；

第2测量系统，具有：第2格子构件，包含该第1及第2方向的测量成分；以及第2读头，一边相对该第2格子构件往该第2方向移动一边对该第2格子构件照射测量光束，该第2格子构件与该第2读头中的一方设于该驱动部，该第2格子构件与该第2读头中的另一方以与该驱动部对向的方式被设于该框架构件，测量于该第2方向的该驱动部相对于该框架构件的位置信息；以及

控制系统，根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息，进行在包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的该物体保持装置相对于该框架构件的移动控制；

该控制系统，根据使用该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个格子区域的至少4个读头测量的该物体保持装置的位置信息，取得与该多个第1及第2格子区域的至少2个格子区域相关的格子修正信息；

该格子修正信息，是被用于使用将该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域中的至少2个格子区域的该至少3个读头的该物体保持装置的移动控制。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其中，该驱动部于针对该物体的曝光中，使保持该物体的该物体保持装置往该第1方向移动。

3.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其中，该物体至少一边的长度、或对角长为500mm以上，为平板显示器用。

4.一种平板显示器的制造方法，其包含：

使用权利要求1至3任一项所述的曝光装置使基板曝光的动作；以及

使该曝光后的基板显影的动作。

5.一种元件制造方法，其包含：

使用权利要求1至3任一项所述的曝光装置使基板曝光的动作；以及

使该曝光后的基板显影的动作。