[发明专利]夹持组件和晶片夹持装置

权利要求书

1.一种夹持组件，其特征在于，包括：套筒、夹持臂、以及限位机构；

所述套筒具有中空内腔，所述套筒的两端设有开口，所述开口与所述中空内腔连通；

所述夹持臂包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持件，所述连接轴贯穿所述中空内腔和所述开口，所述夹持件凸设于所述开口且沿所述连接轴的径向方向延伸；

所述限位机构设置在所述套筒与所述连接轴之间以使得所述连接轴相对所述套筒在所述中空内腔中按预设运动路径运动。

2.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述限位机构包括导向槽和销轴；所述导向槽凹设在所述套筒的周侧，所述导向槽与所述中空内腔连通；所述销轴凸设在所述连接轴上，所述销轴可滑动地设于所述导向槽内。

3.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述限位机构包括导向槽和销轴；所述导向槽凹设在所述连接轴的周侧；所述销轴凸设于所述套筒的内侧，所述销轴可滑动地设于所述导向槽内。

4.根据权利要求2或3所述的夹持组件，其特征在于，所述导向槽沿所述夹持组件的轴向螺旋延伸。

5.根据权利要求2或3所述的夹持组件，其特征在于，所述销轴位于所述导向槽远离所述夹持件的一侧时，所述夹持件与所述套筒之间具有间隔间距。

6.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述套筒包括筒状部和设于所述筒状部一侧的延伸部，所述延伸部设于所述筒状部的外周缘且沿所述筒状部的外周缘向外延伸，所述连接轴贯穿所述筒状部和所述延伸部。

7.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述夹持臂还包括凸缘件，所述凸缘件设置在所述连接轴远离所述夹持件的一侧，所述凸缘件的最大径长大于所述中空内腔的最大径长。

8.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述夹持件靠近所述套筒的一侧凸设有凸台，所述凸台靠近所述套筒的一侧为平面。

9.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述夹持组件还包括螺旋弹簧，所述螺旋弹簧套设于所述连接轴的周侧。

10.一种晶片夹持装置，包括：套筒、夹持臂、限位机构、以及驱动件；

所述套筒具有中空内腔，所述套筒的两端设有开口，所述开口与所述中空内腔连通；

所述夹持臂包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持件，所述连接轴贯穿所述中空内腔和所述开口，所述夹持件凸设于所述开口且沿所述连接轴的径向方向延伸以用于固定晶片；

所述驱动件与所述连接轴驱动连接；所述限位机构设置在所述套筒与所述连接轴之间以使得所述连接轴相对所述套筒在所述中空内腔中按预设运动路径运动。