[发明专利]一种铝材料合金、其制备方法和用途

说明书

本发明提供了一种铝材料合金、其制备方法和用途，所述铝材料合金中包括硅、钛和镁，所述硅的质量分数为0.9～1.1％，所述钛的质量分数为0.2～0.3％，所述镁的质量分数为0.2～0.4％。通过硅、钛和镁三种元素的配合，有效提高材料的耐磨性能等参数，采用本发明提供的铝材料合金制备得到的产品，在进行化学清洗、喷砂和干燥等翻新操作时，能够有效地提高产品的耐用性，本发明具有组成简单、成本低和耐用性高等特点。

技术领域

本发明属于合金技术领域，尤其涉及一种铝材料合金、其制备方法和用途。

背景技术

学气相沉积是集成电路生产过程中的核心工艺之一，在成膜均匀性、致密性以及覆盖率等方面具有显著优点，在大规模集成电路的生产过程中，介电质膜层、导电材料和半导电材料等包括大范围的绝缘材料膜层几乎都用化学气相沉积来完成，随着技术的革新，为了达到原子层级的薄膜厚度控制，化学气相沉积方式在反应速率可控性和膜厚均匀性上具有很大的竞争力。

化学气相沉积工艺的基本原理：两种或两种以上的气态原材料导入到气体混合盘中混合均匀，然后通过气体分配盘匀速并均匀地导入反应室内，在加热或电场及压力作用下，他们相互之间发生化学反应，形成一种新的薄膜材料，沉积到晶片表面上。

其中，气体分配盘是一种耗材，目前，气体分配盘的基体材料基本是高品质的6061合金铝，使用一定的时间后其表面会有一层附着物，不适合继续使用，需经过化学清洗、喷砂和干燥等处理工艺，去除附着物后才能重新使用。一般经过4～5次的处理后，其平面度、圆度和孔径等关键参数就达不到使用的要求，只能作报废处理。

CN102672151A公开一种铝合金大规格细晶铸锭的制备方法，包括如下步骤：准备原料，将原料置人熔炼炉内熔化并升温至750℃以上后开始精炼，在精炼20～40min后取样分析，继续升温至755～770℃得到铝合金熔液，根据取样分析结果补料，同时向熔炼炉加入晶粒细化剂，晶粒细化剂的加入量为：1吨铝合金熔液中加1～1.5kg晶粒细化剂；铝合金熔液加入晶粒细化剂后充分搅拌，再静置15～20min，然后开始铸造，铝合金熔液从熔炼炉内流出至流槽，然后经在线除气装置除气、经陶瓷过滤板过滤后注入到结晶器中，铸造速度为48～55mm/min，冷却水压为0.06～0.10MPa；其中，向流槽中的铝合金熔液以2.5～3.0m/min的速度加入晶粒细化剂。该发明方法制备的铝合金大规格铸锭晶粒细小，组织致密，满足高要求工业型材的用料要求。

CN110468309A公开了一种铝合金材料，包括以下原料：铝锭、镁锭、铝硅合金、铜块、锌块、铁块、锰块、镁镧合金、镝粉、铝钕合金、镁钬合金、钼粉、铬粉、钒粉、铒粉、碳化硅、精炼剂，所述铝合金材料是经过生产合金液后变质处理，然后浇注成型进行预冷处理，接着进行淬火处理和回火处理等步骤制成的。该发明通过对铝合金的组分、熔炼和热处理工艺参数进行了优化，提高了产品的抗拉强度和延伸率指标，使得铝合金材料抗拉强度达到了128.9MPa以上，延伸率达到了40.9％以上，可大大满足了市场及现有产品材质性能要求，具有广泛推广应用的意义。

现有铝材料合金均存在组分复杂，制备困难和成本高等问题，因此，如何在保证铝材料合金具有组成简单和制备简单的情况下，还能够降低成本，提高铝材料合金制品的使用寿命，成为目前迫切需要解决的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种铝材料合金、其制备方法和用途，通过调节铝材料合金中硅的质量分数为0.9～1.1％，钛的质量分数为0.2～0.3％，镁的质量分数为0.2～0.24％，该材料具有组成简单、成本低、制备工艺简单和耐用性高等特点。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：