[发明专利]柔性压印模板及其制造方法

说明书

本公开提供了一种柔性压印模板及其制造方法。该柔性压印模板包括：柔性衬底；因瓦合金层，其通过粘合剂固定在柔性衬底上；金属粘合层，其设置在因瓦合金层上；以及刚性结构层，其通过金属粘合层粘合至因瓦合金层，其中，刚性结构层上具有压印图案。

技术领域

本公开涉及一种柔性压印模板及其制造方法，尤其涉及一种采用因瓦合金的柔性压印模板及其制造方法。

背景技术

纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法，由于其成型快、所需压力小、与传统半导体工艺兼容性好，已经成为压印技术的主流。纳米压印可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构，而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。

压印模板是纳米压印技术的核心要素。传统的纳米压印模板采用石英制作。对于柔性压印来说，高硬度的石英材料是不适合的，因为其很难贴合曲面承印物从而复刻图案。例外，这种高硬度的石英材料很难具有大面积超高平整度，从而在紫外光压印过程中需要超高的外压力以实现大面积压印。另外，刚性模板容易产生裂纹或碎裂，从而使压印结果出现大面积缺陷。

柔性压印模板则可以克服石英刚性模板的上述缺陷。当前的柔性压印模板一般采用聚对苯二甲酸乙二醇酯PET作为衬底，然后在上面形成刚性压印图案。然而，由于PET热稳定性较差，在使用过程中容易随温度变化产生膨胀或收缩，从而导致压印图案的重复性较差。

发明内容

本公开的目的在于克服现有技术的不足，通过在柔性压印模板中布置热膨胀系数很低的因瓦合金层，来提供一种稳定性提高并且重复性较好的柔性压印模板及其制造方法。

本公开的第一方面提供了一种柔性压印模板，包括：柔性衬底；因瓦合金层，其通过粘合剂固定在所述柔性衬底上；金属粘合层，其设置在所述因瓦合金层上；以及刚性结构层，其通过所述金属粘合层粘合至所述因瓦合金层，其中，所述刚性结构层上具有压印图案。

在一些实施例中，所述柔性衬底的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯PET。

在一些实施例中，所述因瓦合金层的厚度在180um-220um的范围内。

在一些实施例中，所述金属粘合层的材料为二氧化钛TiO2和铝Al中的一种，并且通过溅射的方式在所述因瓦合金层上形成所述金属粘合层。

在一些实施例中，所述金属粘合层的厚度为10nm。

在一些实施例中，所述刚性结构层的材料为紫外线UV光胶。

本公开的另一方面提供了一种柔性压印模板的制造方法，包括：提供柔性衬底；通过使用粘合剂将因瓦合金层固定在所述柔性衬底上；在所述因瓦合金层上布置金属粘合层；以及在所述金属粘合层上布置刚性结构层。

在一些实施例中，所述金属粘合层的材料为二氧化钛TiO2和铝Al中的一种，并且在所述因瓦合金层上布置金属粘合层包括：通过溅射的方式在所述因瓦合金层上形成所述金属粘合层。

在一些实施例中，所述刚性结构层上具有压印图案，并且在所述金属粘合层上布置刚性结构层包括：在所述金属粘合层上涂覆紫外线UV光胶；将硅基母模上的压印图案复刻至所述紫外线UV光胶上；以及固化所述紫外线UV光胶以形成所述刚性结构层。

在一些实施例中，所述柔性衬底的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯PET。

在一些实施例中，所述因瓦合金层的厚度在180um-220um的范围内。

在一些实施例中，所述金属粘合层的厚度为10nm。

附图说明

图1示出了根据本公开的柔性压印模板的结构示意图。

图2A示出了根据本公开的柔性压印模板的制造方法的操作流程图。