[发明专利]柔性压印模板及其制造方法在审
| 申请号： | 202110732955.6 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115542662A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 孙晖 | 申请（专利权）人： | 镭亚电子（苏州）有限公司;镭亚股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 于小宁 |
| 地址： | 215500 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性 压印 模板 及其 制造 方法 | ||
1.一种柔性压印模板，包括：
柔性衬底；
因瓦合金层，其通过粘合剂固定在所述柔性衬底上；
金属粘合层，其设置在所述因瓦合金层上；以及
刚性结构层，其通过所述金属粘合层粘合至所述因瓦合金层，
其中，所述刚性结构层上具有压印图案。
2.根据权利要求1所述的柔性压印模板，其中，
所述柔性衬底的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯PET。
3.根据权利要求1所述的柔性压印模板，其中，
所述因瓦合金层的厚度在180um-220um的范围内。
4.根据权利要求1所述的柔性压印模板，其中，
所述金属粘合层的材料为二氧化钛TiO2和铝Al中的一种，并且通过溅射的方式在所述因瓦合金层上形成所述金属粘合层。
5.根据权利要求4所述的柔性压印模板，其中，
所述金属粘合层的厚度为10nm。
6.根据权利要求1所述的柔性压印模板，其中，
所述刚性结构层的材料为紫外线UV光胶。
7.一种柔性压印模板的制造方法，包括：
提供柔性衬底；
通过使用粘合剂将因瓦合金层固定在所述柔性衬底上；
在所述因瓦合金层上布置金属粘合层；以及
在所述金属粘合层上布置刚性结构层。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述金属粘合层的材料为二氧化钛TiO2和铝Al中的一种，并且在所述因瓦合金层上布置金属粘合层包括：
通过溅射的方式在所述因瓦合金层上形成所述金属粘合层。
9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述刚性结构层上具有压印图案，并且在所述金属粘合层上布置刚性结构层包括：
在所述金属粘合层上涂覆紫外线UV光胶；
将硅基母模上的压印图案复刻至所述紫外线UV光胶上；以及
固化所述紫外线UV光胶以形成所述刚性结构层。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的方法，其中，
所述柔性衬底的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯PET。
11.根据权利要求7至9中任一项所述的方法，其中，
所述因瓦合金层的厚度在180um-220um的范围内。
12.根据权利要求7至9中任一项所述的方法，其中，
所述金属粘合层的厚度为10nm。
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