[发明专利]一种芯片检测设备

权利要求书

1.一种芯片检测设备，其特征在于，所述芯片检测设备包括：

基座(1000)，所述基座(1000)上设有料仓机构(6)，所述料仓机构(6)用于存放待检测和检测完毕的芯片(100)；

第一搬运装置(1)，所述第一搬运装置(1)包括第一运送机构和夹持机械手(12)；所述第一运送机构设置于所述基座(1000)上，所述第一运送机构能够在x轴方向和z轴方向上运动，x轴方向和z轴方向相互垂直；所述夹持机械手(12)设置于所述第一运送机构上，用于从所述料仓机构(6)中夹取芯片(100)；

第二搬运装置(2)，所述第二搬运装置(2)包括相对设置的第二运送机构(21)和第三运送机构(22)，所述第二运送机构(21)和所述第三运送机构(22)的运动方向平行且均能够在y轴方向上运动，x轴方向和z轴方向均与y轴方向垂直；

第三搬运装置(3)，所述第三搬运装置(3)包括相对设置的第四运送机构(31)和第五运送机构(32)，所述第四运送机构(31)和所述第五运送机构(32)的运动方向平行且均能够在y轴方向上运动；

第一检测装置(4)，所述第一检测装置(4)包括翻转机构和底面检测相机机构(42)，所述翻转机构与所述基座(1000)滑动连接，所述底面检测相机机构(42)设置于所述翻转机构的上方；

第二检测装置(5)，所述第二检测装置(5)包括设置于所述基座(1000)上的顶面检测相机机构(51)和端面检测相机机构(52)，所述顶面检测相机机构(51)的光轴线和所述端面检测相机机构(52)的光轴线正交；

所述第二运送机构(21)和所述第三运送机构(22)均包括第一y轴驱动电机(211)、第三导轨(83)、第一y轴丝杆组件(212)以及第一y轴运送平台(213)；

所述第一y轴驱动电机(211)、所述第三导轨(83)以及所述第一y轴丝杆组件(212)均设置于所述基座(1000)上；所述第一y轴驱动电机(211)的转轴与所述第一y轴丝杆组件(212)的丝杆连接，所述第三导轨(83)与所述第一y轴丝杆组件(212)平行；

所述第三导轨(83)沿y轴方向分布，所述第一y轴运送平台(213)与所述第三导轨(83)滑动连接，所述第一y轴运送平台(213)与所述第一y轴丝杆组件(212)的滑块连接。

所述第一y轴运送平台(213)包括第一y轴运送底板(2131)、定位平台(2132)以及定位手指气缸(2133)；

所述第一y轴运送底板(2131)与所述第三导轨(83)滑动连接，所述第一y轴运送底板(2131)与所述第一y轴丝杆组件(212)的滑块连接；

所述定位平台(2132)水平设置于所述第一y轴运送底板(2131)上，所述定位平台(2132)的上表面沿x轴方向开设有定位槽，所述定位槽的槽底开设有定位通孔(2134)以及相对设置的条形通孔(2135)，所述定位通孔(2134)位于相对设置的两个所述条形通孔(2135)之间；

所述定位手指气缸(2133)的缸体沿x轴方向设置于所述定位平台(2132)的下表面，所述定位手指气缸(2133)的气爪位于所述定位通孔(2134)的正下方，所述定位手指气缸(2133)的气爪上设置有定位块(2136)，所述定位块(2136)穿过所述定位通孔(2134)。