[发明专利]使用透射带电粒子显微镜对样本进行成像的方法

权利要求书

1.一种使用透射带电粒子显微镜对样本进行成像的方法，所述方法包括：

- 提供样本；

- 提供带电粒子束并将所述带电粒子束引导到所述样本上，用于生成一定通量的透射穿过所述样本的带电粒子；

- 生成并记录透射穿过所述样本的带电粒子的第一能量过滤通量，其中所述带电粒子的第一能量过滤通量基本上由未散射和弹性散射的带电粒子组成；

- 生成并记录透射穿过所述样本的带电粒子的第二能量过滤通量，其中所述带电粒子的第二能量过滤通量基本上由非弹性散射的带电粒子组成；

- 使用所述第一和第二记录的能量过滤通量对所述样本进行成像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中生成并记录带电粒子的第一能量过滤通量的步骤包括零损失峰（ZLP）过滤。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中生成并记录带电粒子的第二能量过滤通量的步骤包括零损失峰（ZLP）阻挡。

4.根据权利要求1至3所述的方法，其中在生成并记录所述带电粒子的第一能量过滤通量的步骤期间，使用第一剂量。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述第一剂量等于所述样本在失去结构完整性之前能够承受的最大剂量，例如，40 e/Ų。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其中在生成并记录所述带电粒子的第二能量过滤通量的步骤期间，使用第二剂量。

7.根据权利要求6所述的方法，其中首先执行生成并记录带电粒子的第一能量过滤通量的所述步骤，并且稍后执行生成并记录带电粒子的第二能量过滤通量的所述步骤。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述第二剂量至少等于所述第一剂量，例如，至少40 e/Ų。

9.根据权利要求1至8所述的方法，其包括以下步骤：使用所述记录的带电粒子的第二能量过滤通量来定位所述样本内的所关注的区域。

10.根据权利要求9所述的方法，其包括以下步骤：从所述记录的带电粒子的第一能量过滤通量中减去所述记录的带电粒子的第二能量过滤通量。

11.根据权利要求10所述的方法，其中在所述记录的带电粒子的第二能量过滤通量上使用比例因子。

12.根据权利要求1至11所述的方法，其中所述样本包括多个样品颗粒，并且所述方法包括形成样品颗粒的三维（3D）重构的步骤，其中使用所述带电粒子的第一和第二能量过滤通量。

13.一种光谱设备，其包括：

- 色散装置，用于接收一定通量的带电粒子并根据所述带电粒子的能量损失来色散所述通量的带电粒子；和

- 检测系统；

其特征在于，所述光谱设备被布置成用于：

- 生成并记录带电粒子的第一能量过滤通量，所述带电粒子的第一能量过滤通量基本上由未散射和弹性散射的带电粒子组成；和

- 生成并记录带电粒子的第二能量过滤通量，所述带电粒子的第二能量过滤通量基本上由非弹性散射的带电粒子组成。