[发明专利]改善外延片波长均匀性的石墨基板

权利要求书

1.一种改善外延片波长均匀性的石墨基板，其特征在于，所述石墨基板包括多个子基板和连接轴，所述多个子基板的结构均相同，每个所述子基板均为扇形，所述多个子基板围绕所述连接轴的周向间隔布置，且所述多个子基板的一端均与所述连接轴连接；

每个所述子基板的上表面均具有多个弧形区域，每个所述弧形区域内均具有用于容纳衬底的至少一个凹槽，且所述多个子基板上的同一弧形区域内的所述至少一个凹槽呈环形布置；

从所述子基板的靠近所述连接轴的一端至所述子基板的远离所述连接轴的一端，所述多个弧形区域中的每个所述弧形区域的厚度均由厚至薄变化，每个所述弧形区域的最大厚度和最小厚度的差值为1～5mm，每个所述弧形区域的厚度均为5～20mm，每个所述子基板对应的扇形圆心角为30°～90°。

2.根据权利要求1所述的石墨基板，其特征在于，所述多个子基板的个数为n，n=2m，m表示单个所述子基板上的所述弧形区域的个数，1＜m。

3.根据权利要求1所述的石墨基板，其特征在于，从所述子基板的靠近所述连接轴的一端至所述子基板的远离所述连接轴的一端，所述多个弧形区域内的所述凹槽的个数逐渐增多。

4.根据权利要求1至3任一项所述的石墨基板，其特征在于，所述连接轴为直径为10~20cm的圆柱。

5.根据权利要求4所述的石墨基板，其特征在于，所述连接轴的轴向长度等于所述子基板的最大厚度。

6.根据权利要求1至3任一项所述的石墨基板，其特征在于，所述多个子基板和所述连接轴为一体成型结构。

7.根据权利要求1至3任一项所述的石墨基板，其特征在于，所述多个子基板和所述连接轴均由石墨基材制成，且所述多个子基板的上表面均镀有碳化硅涂层。