[发明专利]用于压电微泵的振动板及其压电微泵

说明书

本发明涉及压电微泵技术领域，尤其是一种用于压电微泵的振动板，此外，本发明还涉及一种包括上述用于压电微泵的振动板的压电微泵，该振动板包括振动部和配置在振动部外周的连接部；连接部上贯穿有至少一个窗口，窗口内具有用于和压电振子固定连接的连接悬臂，连接悬臂包括梁部和至少一个悬臂部，本发明通过将连接悬臂以大致朝向或完全朝向振动部中心的方式连接在梁部和窗口之间，一方面连接部除去窗口的部分均能够与支撑板固定连接，极大地提高了作为关键部件的振动板与支撑板之间的连接面积，增大了连接强度，降低了工作过程中连接失效的风险，另一方面能够减少连接悬臂在弯曲时发生的扭转，提高使用寿命。

技术领域

本发明涉及压电微泵技术领域，尤其是一种用于压电微泵的振动板，此外，本发明还涉及一种包括上述用于压电微泵的振动板的压电微泵。

背景技术

压电驱动型流体输送和控制装置具有结构紧凑，易微小型化，易集成，控制精度高，响应速度快，功耗低、寿命长、可靠性高等优点，在医疗、生物、化工等领域有着广泛的应用需求。

对此，现有技术中出现了一些压电微泵，如专利文献CN109869302A一种垂直支承微型压电泵，其挠性板(振动板)中的梁部为周向设置，导致梁部随致动器(压电振子)弯曲时，容易发生扭转变形，进而导致梁部的根部容易发生断裂；

专利文献CN 111980887 A中公开了一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置，其共振板(振动板)中的悬臂为径向设置，虽然能够在梁部随压电振子弯曲时，可大幅度的降低扭转变形，但是其共振板通过凸起与支撑板或连接板连接，连接面积小，连接强度不高，存在连接失效的风险。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中压电微泵内的振动板无法同时兼具降低梁部扭转变形及具有较大有效连接面积的问题，现提供一种用于压电微泵的振动板，此外，本发明提供一种包括上述用于压电微泵的振动板的压电微泵。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于压电微泵的振动板，所述压电微泵具有压电振子，所述振动板用于和压电振子配合，该振动板包括振动部和配置在振动部外周的连接部，所述振动部上贯穿有过流孔；

所述连接部上贯穿有至少一个窗口，所述窗口内具有用于和压电振子固定连接的连接悬臂，所述连接悬臂包括梁部和至少一个悬臂部，所述悬臂部的一端和窗口内在振动部径向上的侧壁固定连接，另一端和梁部在振动部径向上的侧壁固定连接，所述梁部在振动部周向上的两端悬空。

本方案中通过在振动板的连接部开有窗口，窗口内设置连接悬臂，振动板通过连接悬臂与压电振子固定连接，连接部除去窗口的部分均能够与支撑板固定连接，极大地提高了作为关键部件的振动板与支撑板之间的连接面积，增大了连接强度，降低了工作过程中连接失效的风险；同时连接悬臂的悬臂部以大致朝向或完全朝向振动部中心的方式连接在梁部和窗口之间，以此实现能够减少连接悬臂在弯曲时发生的扭转，提高使用寿命。

本发明连接悬臂的具体设置方案大致分为以下三种：

第一种为，所述窗口内在振动部径向上的两个侧壁分别为第一径向内壁和第二径向内壁，在振动部的径向上，第一径向内壁位于第二径向内壁的外侧；所述梁部在振动部径向上的两个侧壁分别为第一径向外壁和第二径向外壁，在振动部的径向上，第一径向外壁位于第二径向外壁的外侧；

所述悬臂部的一端和第一径向内壁固定连接，另一端和第一径向外壁固定连接。

第二种为，所述窗口内在振动部径向上的两个侧壁分别为第一径向内壁和第二径向内壁，在振动部的径向上，第一径向内壁位于第二径向内壁的外侧；所述梁部在振动部径向上的两个侧壁分别为第一径向外壁和第二径向外壁，在振动部的径向上，第一径向外壁位于第二径向外壁的外侧；

所述悬臂部的一端和第二径向内壁固定连接，另一端和第二径向外壁固定连接。