[发明专利]用于压电微泵的振动板及其压电微泵

权利要求书

1.一种用于压电微泵的振动板，所述压电微泵具有压电振子(2)，所述振动板(3)用于和压电振子(2)配合，其特征在于：该振动板(3)包括振动部(31)和配置在振动部(31)外周的连接部(32)，所述振动部(31)上贯穿有过流孔(311)；

所述连接部(32)上贯穿有至少一个窗口(321)，所述窗口(321)内具有用于和压电振子(2)固定连接的连接悬臂(322)，所述连接悬臂(322)包括梁部(3221)和至少一个悬臂部(3222)，所述悬臂部(3222)的一端和窗口(321)内在振动部(31)径向上的侧壁连接，另一端和梁部(3221)在振动部(31)径向上的侧壁固定连接，所述梁部(3221)在振动部(31)周向上的两端悬空。

2.根据权利要求1所述的用于压电微泵的振动板，其特征在于：所述窗口(321)内在振动部(31)径向上的两个侧壁分别为第一径向内壁(321a)和第二径向内壁(321b)，在振动部(31)的径向上，第一径向内壁(321a)位于第二径向内壁(321b)的外侧；所述梁部(3221)在振动部(31)径向上的两个侧壁分别为第一径向外壁(3221a)和第二径向外壁(3221b)，在振动部(31)的径向上，第一径向外壁(3221a)位于第二径向外壁(3221b)的外侧；

所述悬臂部(3222)的一端和第一径向内壁(321a)固定连接，另一端和第一径向外壁(3221a)固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于压电微泵的振动板，其特征在于：所述窗口(321)内在振动部(31)径向上的两个侧壁分别为第一径向内壁(321a)和第二径向内壁(321b)，在振动部(31)的径向上，第一径向内壁(321a)位于第二径向内壁(321b)的外侧；所述梁部(3221)在振动部(31)径向上的两个侧壁分别为第一径向外壁(3221a)和第二径向外壁(3221b)，在振动部(31)的径向上，第一径向外壁(3221a)位于第二径向外壁(3221b)的外侧；

所述悬臂部(3222)的一端和第二径向内壁(321b)固定连接，另一端和第二径向外壁(3221b)固定连接。

4.根据权利要求1所述的用于压电微泵的振动板，其特征在于：所述窗口(321)内在振动部(31)径向上的两个侧壁分别为第一径向内壁(321a)和第二径向内壁(321b)，在振动部(31)的径向上，第一径向内壁(321a)位于第二径向内壁(321b)的外侧；所述梁部(3221)在振动部(31)径向上的两个侧壁分别为第一径向外壁(3221a)和第二径向外壁(3221b)，在振动部(31)的径向上，第一径向外壁(3221a)位于第二径向外壁(3221b)的外侧；

所述第一径向内壁(321a)和第一径向外壁(3221a)之间至少具有一个悬臂部(3222)，第一径向内壁(321a)和第一径向外壁(3221a)之间的悬臂部(3222)为外悬臂，外悬臂的一端和第一径向内壁(321a)固定连接，另一端和第一径向外壁(3221a)固定连接；

所述第二径向内壁(321b)和第二径向外壁(3221b)之间至少具有一个悬臂部(3222)，第二径向内壁(321b)和第二径向外壁(3221b)之间的悬臂部(3222)为内悬臂部，内悬臂部的一端和第二径向内壁(321b)固定连接，另一端和第二径向外壁(3221b)固定连接。

5.根据权利要求4所述的用于压电微泵的振动板，其特征在于：所述内悬臂部和外悬臂部一一对应，所述外悬臂部和与其对应的内悬臂部位于振动部(31)的同一径向上。

6.根据权利要求1-4所述的用于压电微泵的振动板，其特征在于：所述悬臂部(3222)位于振动部(31)的径向方向上。

7.根据权利要求1所述的用于压电微泵的振动板，其特征在于：所述连接部(32)与振动部(31)一体成型，或者连接部(32)与振动部(31)固定连接。

8.根据权利要求1所述的用于压电微泵的振动板，其特征在于：所述振动板(3)为导电体。