[发明专利]一种生产能力边界的确定方法和装置及设备

说明书

本发明提供了一种生产能力边界的确定方法和装置及设备，所述方法包括：获取生产设备分批次生产固定数量元件的相关数据，根据相关数据确定相邻批次的生产结束时间之间的时间间隔；对确定的时间间隔进行排序，得到时间间隔序列；分别解析当前时间间隔序列两边界的时间间隔的分布特征，确定是否满足数据剔除条件；当满足时，根据当前时间间隔序列的平均值，确定离群值，剔除离群值所在的抽取步长的时间间隔，并重新确定是否满足数据剔除条件；当不满足时，根据当前时间间隔序列的最小、最大时间间隔及固定数量，确定生产设备的生产能力边界。利用本发明提供的方法，可以根据筛选后的时间间隔，确定生产能力边界，提升产能规划的准确性及决策效率。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种生产能力边界的确定方法和装置及设备。

背景技术

目前在半导体制造领域中，在设备满载且稳定运行的情况下，面向某一确定的设备与确定的制造加工要求(recipe)，习惯用单位时间内产出的晶圆数量(Wafer Per Hour，WPH)衡量设备的生产能力，其中，WPH＝Run Size/Takt Time，Run Size表示每批次生产的晶圆数量，该值在设备满载且稳定运行的情况下是确定的，Takt Time表示相邻两批次生产的结束时间之间的时间间隔。因此，在设备满载且稳定运行的情况下，设备的生产能力由Takt Time决定。

在设备满载且稳定运行的情况下，上述Takt Time存在上下边界，因此设备的生产能力存在上下边界。又因为在半导体制造领域中产能规划的任务之一是根据产能扩充需求，规划生产设备的数量，并根据规划的生产设备数量，估计所需生产资源，进行生产准备，而上述生产设备的数量主要取决于设备的生产能力，因此，设备的生产能力可以间接的影响产能规划。半导体制造工艺流程复杂、产线状况动态多变，准确地确定设备的生产能力的边界可以为产能规划提供坚实的决策依据，并提升决策效率。

为了准确地确定设备的生产能力的边界，需要正确处理Takt Time数据。目前主要采用正态分布算法处理Takt Time数据，而正态分布算法基于多个批次分别对应的多个Takt Time，估算平均值确定最终Takt Time，仅能粗略描述平均水平，精确度不高，且无法评估设备生产能力的边界，将导致产能规划产生偏差，极大地影响生产准备工作的进行。因此，需要提供一种能准确评估设备生产能力边界的解决方案。

发明内容

本发明提供一种生产能力边界的确定方法和装置及设备，解决现有的Takt Time数据处理方案无法正确处理Takt Time数据，且无法评估生产设备的生产能力边界的问题。

第一方面，本发明提供一种生产能力边界的确定方法，该方法包括：

获取生产设备分批次生产固定数量元件的相关数据，根据所述相关数据确定相邻批次的生产结束时间之间的时间间隔；

对确定的时间间隔按时长大小进行排序，得到时间间隔序列；

分别解析当前时间间隔序列两边界的时间间隔的分布特征，确定是否满足数据剔除条件，其中，各边界的时间间隔为两个抽取步长的时间间隔；

当满足数据剔除条件时，根据当前时间间隔序列的平均值，确定解析的时间间隔中的离群值，剔除所述离群值所在的抽取步长的时间间隔，并重新分别解析当前时间间隔序列两边界的时间间隔的分布特征，确定是否满足数据剔除条件；

当不满足数据剔除条件时，根据当前时间间隔序列的最小时间间隔、最大时间间隔及所述固定数量，确定所述生产设备的生产能力边界。

可选地，分别解析当前时间间隔序列两边界的时间间隔的分布特征，确定是否满足数据剔除条件，包括：

确定各边界对应的两个抽取步长的时间间隔的分布特征，是否符合当前时间间隔序列的线性函数分布特征；