[发明专利]一种通过沉积金锡焊料组装的TEC及制备方法在审

专利信息
申请号: 202110577734.6 申请日: 2021-05-26
公开(公告)号: CN113285009A 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 刘凌波;杨梅;毛文梅 申请(专利权)人: 杭州大和热磁电子有限公司
主分类号: H01L35/08 分类号: H01L35/08;H01L35/32;H01L35/34
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 刘正君
地址: 310051 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 通过 沉积 焊料 组装 tec 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种通过沉积金锡焊料组装的TEC,其特征在于,包括:

上基板(1),用于实现冷端吸热,与连接片(5)相连;

下基板(2),用于实现热端放热,与连接片(5)相连;

晶粒(3),用于实现热电势的传导,经过金锡焊料(4)与连接片(5)相连;金锡焊料(4),用于实现晶粒(3)与连接片(5)的连接和热电势的传导;

连接片(5),用于通电发生吸热和放热现象。

2.根据权利要求1所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC,其特征在于,所述晶粒(3)为长方体,晶粒(3)上表面和下表面设有金锡焊料(4)。

3.根据权利要求1所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC及制备方法,其特征在于,所述晶粒(3)上表面和相邻晶粒(3)上表面与同一连接片(5)相连,晶粒(3)下表面和另一个相邻晶粒(3)下表面与同一连接片(5)相连。

4.根据权利要求1所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC及制备方法,其特征在于,所述上基板(1)面积小于下基板(2)面积,上基板(1)上表面和下基板(2)下表面设有散热板(6)。

5.一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1在晶圆(7)表面覆盖金锡焊料(4)处理;

S2对处理好的晶圆(7)切割成晶粒(3);

S3将晶粒(3)排布在基板上;

S4将排布好的晶粒(3)的TEC整体通过焊接炉实现焊接。

6.根据权利要求5所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,所述步骤S1具体包括将晶圆(7)浸入金锡溶液电镀槽中,通过电镀使整个晶圆(7)表面覆盖金锡材料(4)。

7.根据权利要求6所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,所述步骤S1通过控制金锡溶液浓度和电镀时间控制晶圆(7)表面覆盖金锡材料(4)的厚度。

8.根据权利要求5所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,所述步骤S2去除切割的边角料,保留仅上下表面电镀有金锡材料(4)的晶粒(3)。

9.根据权利要求5所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,所述步骤S3进行晶粒(3)排布时,确保第一晶粒(3)的上表面和相邻晶粒(3)的上表面与同一连接片(5)相连,同时第一晶粒(3)下表面和另一个相邻晶粒(3)下表面与同一连接片(5)相连。

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