[发明专利]一种通过沉积金锡焊料组装的TEC及制备方法在审
| 申请号: | 202110577734.6 | 申请日: | 2021-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN113285009A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
| 发明(设计)人: | 刘凌波;杨梅;毛文梅 | 申请(专利权)人: | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L35/08 | 分类号: | H01L35/08;H01L35/32;H01L35/34 |
| 代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 刘正君 |
| 地址: | 310051 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 通过 沉积 焊料 组装 tec 制备 方法 | ||
1.一种通过沉积金锡焊料组装的TEC,其特征在于,包括:
上基板(1),用于实现冷端吸热,与连接片(5)相连;
下基板(2),用于实现热端放热,与连接片(5)相连;
晶粒(3),用于实现热电势的传导,经过金锡焊料(4)与连接片(5)相连;金锡焊料(4),用于实现晶粒(3)与连接片(5)的连接和热电势的传导;
连接片(5),用于通电发生吸热和放热现象。
2.根据权利要求1所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC,其特征在于,所述晶粒(3)为长方体,晶粒(3)上表面和下表面设有金锡焊料(4)。
3.根据权利要求1所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC及制备方法,其特征在于,所述晶粒(3)上表面和相邻晶粒(3)上表面与同一连接片(5)相连,晶粒(3)下表面和另一个相邻晶粒(3)下表面与同一连接片(5)相连。
4.根据权利要求1所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC及制备方法,其特征在于,所述上基板(1)面积小于下基板(2)面积,上基板(1)上表面和下基板(2)下表面设有散热板(6)。
5.一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1在晶圆(7)表面覆盖金锡焊料(4)处理;
S2对处理好的晶圆(7)切割成晶粒(3);
S3将晶粒(3)排布在基板上;
S4将排布好的晶粒(3)的TEC整体通过焊接炉实现焊接。
6.根据权利要求5所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,所述步骤S1具体包括将晶圆(7)浸入金锡溶液电镀槽中,通过电镀使整个晶圆(7)表面覆盖金锡材料(4)。
7.根据权利要求6所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,所述步骤S1通过控制金锡溶液浓度和电镀时间控制晶圆(7)表面覆盖金锡材料(4)的厚度。
8.根据权利要求5所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,所述步骤S2去除切割的边角料,保留仅上下表面电镀有金锡材料(4)的晶粒(3)。
9.根据权利要求5所述的一种通过沉积金锡焊料组装的TEC制备方法,其特征在于,所述步骤S3进行晶粒(3)排布时,确保第一晶粒(3)的上表面和相邻晶粒(3)的上表面与同一连接片(5)相连,同时第一晶粒(3)下表面和另一个相邻晶粒(3)下表面与同一连接片(5)相连。
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