[发明专利]一种低温等离子金属薄膜处理一体机

权利要求书

1.一种低温等离子金属薄膜处理一体机，其特征在于：包括放电辊、导辊、放电电极组、高压发生器柜和电源动力控制柜，所述放电辊的一端连接到高压发生器柜，另一端连接到电源动力控制柜，所述导辊设置在放电辊的一侧上方或者下方，所述放电电极组设置在放电辊的上方或者下方，且放电电极组的位置与导辊的位置相反，所述放电电极组包括放电电极及散热装置，放电电极配合放电辊，散热装置配合放电电极，所述的高压发生器柜和电源动力控制柜之间的最下方设置水冷装置。

2.根据权利要求1所述的一种低温等离子金属薄膜处理一体机，其特征在于：所述的电源动力控制柜包括驱动装置和控制界面，驱动装置包括电机，电机的转动轴上设置减速机，所述的放电辊通过磁粉离合器连接在减速机上。

3.根据权利要求2所述的一种低温等离子金属薄膜处理一体机，其特征在于：所述的放电辊设置一根，减速机设置一个，放电辊通过减速机进行控制方向。

4.根据权利要求2所述的一种低温等离子金属薄膜处理一体机，其特征在于：所述的放电辊至少设置两根，所述的减速机与放电辊数量一致，且相邻的两个减速机的转动方向相反，放电辊通过减速机进行控制方向。

5.根据权利要求1所述的一种低温等离子金属薄膜处理一体机，其特征在于：所述的放电辊一根配合两组放电电极，每组放电电极包括四根，均配合包裹在放电辊的外周，且放电电极与放电辊之间设有间隙。

6.根据权利要求1所述的一种低温等离子金属薄膜处理一体机，其特征在于：所述的高压发生器柜中包括风机、变压器、水冷头、高压线。

7.根据权利要求6所述的一种低温等离子金属薄膜处理一体机，其特征在于：所述的高压发生器柜的侧面设置辊散热排风口、放电电极内冷进风口和观察窗。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种低温等离子金属薄膜处理一体机，其特征在于：金属薄膜依次穿过所述的导辊、放电辊与放电电极之间的间隙。