[发明专利]一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置在审
| 申请号: | 202110557623.9 | 申请日: | 2021-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN113285008A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
| 发明(设计)人: | 陈琅;李特;王贞福;于学成 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | H01L33/64 | 分类号: | H01L33/64;H01S5/024;H01L23/367;H01L23/373;H01L23/473 |
| 代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 史晓丽 |
| 地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 应用于 功率 光源 芯片 喷射 降压 强化 散热 装置 | ||
1.一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,包括自上而下相互层叠设置的上密封叠片(1)、上冷却叠片(2)、导流叠片(3)、下冷却叠片(4)和下密封叠片(5);
所述下密封叠片(5)上设置相互隔离的第一入水口(6)和第一出水口(7);
所述下冷却叠片(4)上设置相互隔离的第一镂空微结构(8)和第二镂空微结构(9);所述第一镂空微结构(8)的位置对应于第一入水口(6);所述第一镂空微结构(8)内设有由若干个筋板构成的冷却通道(10);所述第二镂空微结构(9)的位置对应于第一出水口(7);
所述导流叠片(3)上设置相互隔离的第二入水口(11)、第三镂空微结构(12)与导流结构;所述第二入水口(11)的位置对应于第一镂空微结构(8);所述导流结构的位置对应于若干个冷却通道(10);
所述上冷却叠片(2)上设有相互隔离的第三入水口(14)、第二出水口(15)、第四镂空微结构(16);所述第三入水口(14)与第二出水口(15)的位置分别对应于第二入水口(11)、第三镂空微结构(12);
所述上密封叠片(1)上设置相互隔离第四入水口(18)与第三出水口(19),其位置分别对应于第三入水口(14)与第二出水口(15);
其特征在于:
所述导流结构为面阵喷射结构(13);所述面阵喷射结构(13)由N×M个喷射孔组成,其中N为列,M为行;
所述第四镂空微结构(16)内,且与导流叠片(3)上面阵喷射结构(13)相对应的位置设有热量导引片(17);
所述热量导引片(17)采用铜或金刚石或碳化硅制作,包括X个的筋条,X个的筋条构成X+1个微型通道(23),且每个筋条与其相邻筋条的距离相等;最外侧微型通道(23)的宽度大于内侧。
2.根据权利要求1所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述喷射孔根据形状分为长方形喷射孔(131)和正方形喷射孔(132);
所述长方形喷射孔(131)设有两列,且设置在面阵喷射结构(13)的两侧;所述正方形喷射孔(132)设有N-2列,设置在两列长方形喷射孔(131)之间;
所述长方形喷射孔(131)的宽等于正方形喷射孔(132)的边长。
3.根据权利要求2所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述长方形喷射孔(131)的长为0.5mm,正方形喷射孔(132)的边长为0.2mm。
4.根据权利要求3所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述筋条的长短有序分布,最外侧的三个筋条为短筋条,其余筋条长短交替分布。
5.根据权利要求4所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述最外侧微型通道(23)的宽度为0.5mm,所述内侧微型通道(23)的宽度为0.2mm。
6.根据权利要求5所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述第四镂空微结构(16)沿着第三入水口(14)两侧延伸至第二出水口(15)。
7.根据权利要求6所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述第二镂空微结构(9)包括主流通区域(91)、两条相互对称的第一微通道(92)和两条相互对称的第二微通道(93);
所述主流通区域(91)的位置对应于第一出水口(7);
所述第一微通道(92)由主流通区域(91)延伸至第一镂空微结构(8);所述第二微通道(93)由主流通区域(91)延伸至第一微通道(92)边缘,且与第一微通道(91)相隔离;
所述第三镂空微结构(12)与第二镂空微结构(9)完全相同。
8.根据权利要求7所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述第一镂空微结构(8)内处于中间的两个筋板等长,且向两边依次递减。
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