[发明专利]一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置在审

专利信息
申请号: 202110557623.9 申请日: 2021-05-21
公开(公告)号: CN113285008A 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 陈琅;李特;王贞福;于学成 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: H01L33/64 分类号: H01L33/64;H01S5/024;H01L23/367;H01L23/373;H01L23/473
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 史晓丽
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 应用于 功率 光源 芯片 喷射 降压 强化 散热 装置
【权利要求书】:

1.一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,包括自上而下相互层叠设置的上密封叠片(1)、上冷却叠片(2)、导流叠片(3)、下冷却叠片(4)和下密封叠片(5);

所述下密封叠片(5)上设置相互隔离的第一入水口(6)和第一出水口(7);

所述下冷却叠片(4)上设置相互隔离的第一镂空微结构(8)和第二镂空微结构(9);所述第一镂空微结构(8)的位置对应于第一入水口(6);所述第一镂空微结构(8)内设有由若干个筋板构成的冷却通道(10);所述第二镂空微结构(9)的位置对应于第一出水口(7);

所述导流叠片(3)上设置相互隔离的第二入水口(11)、第三镂空微结构(12)与导流结构;所述第二入水口(11)的位置对应于第一镂空微结构(8);所述导流结构的位置对应于若干个冷却通道(10);

所述上冷却叠片(2)上设有相互隔离的第三入水口(14)、第二出水口(15)、第四镂空微结构(16);所述第三入水口(14)与第二出水口(15)的位置分别对应于第二入水口(11)、第三镂空微结构(12);

所述上密封叠片(1)上设置相互隔离第四入水口(18)与第三出水口(19),其位置分别对应于第三入水口(14)与第二出水口(15);

其特征在于:

所述导流结构为面阵喷射结构(13);所述面阵喷射结构(13)由N×M个喷射孔组成,其中N为列,M为行;

所述第四镂空微结构(16)内,且与导流叠片(3)上面阵喷射结构(13)相对应的位置设有热量导引片(17);

所述热量导引片(17)采用铜或金刚石或碳化硅制作,包括X个的筋条,X个的筋条构成X+1个微型通道(23),且每个筋条与其相邻筋条的距离相等;最外侧微型通道(23)的宽度大于内侧。

2.根据权利要求1所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述喷射孔根据形状分为长方形喷射孔(131)和正方形喷射孔(132);

所述长方形喷射孔(131)设有两列,且设置在面阵喷射结构(13)的两侧;所述正方形喷射孔(132)设有N-2列,设置在两列长方形喷射孔(131)之间;

所述长方形喷射孔(131)的宽等于正方形喷射孔(132)的边长。

3.根据权利要求2所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述长方形喷射孔(131)的长为0.5mm,正方形喷射孔(132)的边长为0.2mm。

4.根据权利要求3所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述筋条的长短有序分布,最外侧的三个筋条为短筋条,其余筋条长短交替分布。

5.根据权利要求4所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述最外侧微型通道(23)的宽度为0.5mm,所述内侧微型通道(23)的宽度为0.2mm。

6.根据权利要求5所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述第四镂空微结构(16)沿着第三入水口(14)两侧延伸至第二出水口(15)。

7.根据权利要求6所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述第二镂空微结构(9)包括主流通区域(91)、两条相互对称的第一微通道(92)和两条相互对称的第二微通道(93);

所述主流通区域(91)的位置对应于第一出水口(7);

所述第一微通道(92)由主流通区域(91)延伸至第一镂空微结构(8);所述第二微通道(93)由主流通区域(91)延伸至第一微通道(92)边缘,且与第一微通道(91)相隔离;

所述第三镂空微结构(12)与第二镂空微结构(9)完全相同。

8.根据权利要求7所述的一种应用于高功率光源芯片的面阵喷射降压强化散热装置,其特征在于:所述第一镂空微结构(8)内处于中间的两个筋板等长,且向两边依次递减。

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