[发明专利]柔性呼吸传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性呼吸传感器，其特征在于包括：

传感部件，包括

导管；

敏感金属线，所述敏感金属线缠绕在所述导管的外层；以及

绝缘层，所述绝缘层包覆敏感金属线；

转接装置，包括：

转接装置主体；以及

立柱，所述立柱布置于转接装置主体上；

柔性电路板，所述柔性电路板包括

电学连接极板，所述电学连接极板通过导线与敏感金属线相连接

通孔式电极，所述通孔式电极用于通过导线与呼吸检测设备相连接；以及

柔性电路板引线，所述柔性电路板引线连接电学连接极板与通孔式电极。

2.根据权利要求1所述的柔性呼吸传感器，其特征在于：所述导管括聚酰亚胺管、PMMA管或者石英管；所述导管的内径为0.2mm-0.3mm，厚度为0.02mm-0.03mm，外径为0.24mm-0.36mm。

3.根据权利要求1所述的柔性呼吸传感器，其特征在于：所述敏感金属线的线宽为30μm-50μm；所述敏感金属线为缠绕形成的线圈，线圈间隔为300μm-400μm，线圈匝数为4-10匝；所述线圈两端构造有引线结构，电学连接极板通过导线与所述引线结构相连接。

4.根据权利要求1所述柔性呼吸传感器，其特征在于：所述绝缘层包括派瑞林绝缘层或者聚酰亚胺绝缘层；所述绝缘层的厚度为1μm-5μm。

5.根据权利要求1所述柔性呼吸传感器，其特征在于：所述转接装置包括一个或者多个立柱；所述立柱为Cu，Fe或者Ni立柱；立柱直径为0.1mm-0.2mm，长度为1mm-1.5mm；多个立柱的布置间隔为0.5mm-1.0mm。

6.一种制备权利要求1-5之一所述的柔性呼吸传感器的方法，其特征在于包括下列步骤：

清洗导管的表面；

在导管外表面形成敏感金属线；

在敏感金属线外层沉积生物绝缘层；

将导管插入立柱并且固定；

将转接部件布置于柔性电路板上；以及

通过导线连接电学连接极板与敏感金属线的引线结构。

7.根据权利要求6所述的制备柔性呼吸传感器的方法，其特征在于：在导管外表面形成敏感金属线包括下列步骤：

在导管外表面涂覆正性光刻胶，并且通过前烘固化所述光刻胶；

对光刻胶表面进行曝光以及显影，以获得敏感金属线的图形；

通过溅射方法在导管外表面制备Cr/Au金属薄层；以及

除去导管外表面的光刻胶。