[发明专利]菲涅耳透镜及其形成方法

说明书

本发明提供一种菲涅耳透镜及其形成方法。其中，菲涅耳透镜的形成方法，包含提供一基板；图案化基板，以形成多个锯齿状的同心环，其中每个同心环具有阶梯结构，且至少一同心环的阶梯结构的上下两阶梯之间具有一尖头；氧化尖头，以形成氧化层；以及移除氧化层。

技术领域

本发明是有关于一种菲涅耳透镜的形成方法，且特别是有关于菲涅耳透镜的制程改良及其所形成的菲涅耳透镜。

背景技术

一般而言，菲涅耳透镜(Fresnel lens)可在节省材料的用量并减少其厚度的情况下 通过无数个同心纹路(菲涅耳带)达到与传统球面透镜相同的光学效果，在日常生活中可应用于对成像品质不太苛求之处，例如汽车前灯、汽车尾灯、交通信号灯、聚光灯、 灯塔、航空母舰、透镜视投影机、放大镜、太阳能热水器等等。

虽然现有技术所制造的菲涅耳透镜可大致满足它们原先预定的用途，但其仍未在各个方面均彻底地符合需求。例如，制造过程中产生的尖头造成光绕射效率大幅下降。 因此，发展出可进一步改善菲涅耳透镜的光绕射效率及形成方法仍为目前业界致力研 究的课题之一。

发明内容

本发的目的是提供一种菲涅耳透镜及其形成方法，以解决制程中产生尖头的问题，使得所制成的菲涅耳透镜阶梯结构更接近理论，从而提高光绕射效率。

为达到上述目的，本发明实施例提供一种菲涅耳透镜的形成方法，包含提供一基板；图案化基板，以形成多个锯齿状的同心环，其中每个同心环均具有阶梯结构，且 至少一同心环的阶梯结构的上下两阶梯之间具有一尖头；氧化尖头，以形成氧化层； 以及移除氧化层。

本发明实施例还提供一种菲涅耳透镜，包含基板，且基板包含多个锯齿状的同心环，其中每个同心环均具有阶梯结构，其中至少一同心环的阶梯结构的下阶梯的上表 面与上阶梯的侧表面的交界处具有圆角。

与现有技术相比，本发明的优点如下：

本发明提供的菲涅耳透镜及其形成方法，可解决制程中产生尖头的问题，使得所制成的菲涅耳透镜阶梯结构更接近理论，而可提高光绕射效率。

附图说明

以下将配合所附附图详述本发明实施例。应注意的是，依据在业界的标准做法，各种特征并未按照比例绘制且仅用以说明例示。事实上，可能任意地放大或缩小元件 的尺寸，以清楚地表现出本发明实施例的特征。

图1是根据本发明的一些实施例，绘示出菲涅耳透镜的剖面图。

图2A、图2B及图2C是根据本发明的一些实施例，绘示出菲涅耳透镜的剖面图。

图3是根据本发明的一些实施例，绘示出相应于图2C的菲涅耳透镜的最顶表面 的俯视图。

图4A及图4B是根据本发明的一些实施例，绘示出形成菲涅耳透镜所使用的图 案化遮罩的上视图及菲涅耳透镜的部分剖面图。

图5A及图5B是根据本发明的一些实施例，绘示出形成菲涅耳透镜所使用的图 案化遮罩的俯视图及菲涅耳透镜的部分剖面图。

图6A及图6B是根据本发明的一些实施例，绘示出形成菲涅耳透镜所使用的图 案化遮罩的俯视图及菲涅耳透镜的部分剖面图。

图7A、图7B及图7C是根据本发明的一些实施例，绘示出形成菲涅耳透镜的部 分剖面图。

图8是根据本发明的一些实施例，绘示出形成菲涅耳透镜的部分剖面图。

图9A、图9B及图9C是根据本发明的一些实施例，绘示出形成菲涅耳透镜的部 分剖面图。

图10是根据本发明的一些实施例，绘示出菲涅耳透镜的部分剖面图。

附图标号说明：

100、基板；