[发明专利]光检测装置在审
| 申请号: | 202110544596.1 | 申请日: | 2016-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN113358223A | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
| 发明(设计)人: | 广瀬真树;柴山胜己;笠原隆;川合敏光;大山泰生;寺町有未 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 装置 | ||
光检测装置具备:法布里‑珀罗干涉滤波器,其设置有光透过区域;光检测器,其检测透过光透过区域的光;封装体,其具有开口,收纳法布里‑珀罗干涉滤波器及光检测器;及光透过部,其以封挡开口的方式配置于封装体的内表面,且包含使入射至光透过区域的光透过的带通滤波器。自平行于线的方向观察的情况下,法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘位于较开口的外缘更靠外侧的位置,光透过部的外缘位于较法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧的位置。
本申请是申请日为
技术领域
本发明涉及一种具备具有彼此的距离设为可变的第1镜及第2镜的法布里-珀罗干涉滤波器的光检测装置。
背景技术
已知有一种光检测装置,其具备:法布里-珀罗干涉滤波器,其具有彼此的距离设为可变的第1镜及第2镜;光检测器,其检测已透过法布里-珀罗干涉过滤器的光;封装体,其收纳法布里-珀罗干涉滤波器及光检测器;及光透过部,其以封挡封装体的开口的方式配置于封装体的内表面(例如,参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第15/064758号
发明内容
发明所要解决的问题
在如上所述的光检测装置中,自使S/N比及分辨率提高的观点出发,抑制杂散光(未透过法布里-珀罗干涉滤波器的光透过区域的光)入射至光检测器极其重要。另外,在法布里-珀罗干涉滤波器中,因为需要极高精度地控制第1镜与第2镜的距离,因而为了抑制由于使用环境温度的变化而在法布里-珀罗干涉滤波器产生的应力的变动,谋求封装体内的温度的均匀化也极其重要。
因此,本发明的一个方式的目的在于提供一种光检测特性高的光检测装置。
解决问题的技术手段
本发明的一个方式所涉及的光检测装置具备:法布里-珀罗干涉滤波器,其具有相互的距离为可变的第1镜及第2镜,且在规定的线上设置有使与第1镜与第2镜的距离相应的光透过的光透过区域;光检测器,其在线上配置于法布里-珀罗干涉滤波器的第1侧,且检测已透过光透过区域的光;封装体,其具有在线上位于法布里-珀罗干涉滤波器的第2侧的开口,收纳法布里-珀罗干涉滤波器及光检测器;及光透过部,其以封挡开口的方式配置于封装体的内表面,且包含使入射至光透过区域的光透过的带通滤波器;在自平行于线的方向观察的情况下,法布里-珀罗干涉滤波器的外缘位于较开口的外缘更靠外侧,光透过构件的外缘位于较法布里-珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧。
在该光检测装置中,法布里-珀罗干涉滤波器的外缘位于较封装体的开口的外缘更靠外侧,包含带通滤波器的光透过部的外缘位于较法布里-珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧。由此,可抑制由于封装体的开口处的光的入射角、封装体的开口处的衍射等而使光经由光透过部的侧面(除了平行于规定的线的方向上彼此相对的光透过构件的光入射面及光出射面的面)进入封装体内而成为杂散光。另外,可抑制由于封装体的开口处的光的入射角、封装体的开口处的衍射等而成为杂散光的光入射至光检测器。再有,与例如光透过部的外缘位于较法布里-珀罗干涉滤波器的外缘更靠内侧的情况相比,由于光透过部的热容量、及光透过部与封装体的热连接面积变大,因而作为结果可谋求封装体内的温度的均匀化。根据以上所述,在该光检测装置中,光检测特性变高。
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