[发明专利]光检测装置在审
| 申请号: | 202110544596.1 | 申请日: | 2016-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN113358223A | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
| 发明(设计)人: | 广瀬真树;柴山胜己;笠原隆;川合敏光;大山泰生;寺町有未 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 装置 | ||
1.一种光检测装置,其特征在于,
具备:
法布里-珀罗干涉滤波器,其具有相互的距离为可变的第1镜及第2镜,且在规定的线上设置有使与所述第1镜与所述第2镜的距离相应的光透过的光透过区域;
光检测器,其在所述线上配置于所述法布里-珀罗干涉滤波器的第1侧,且检测透过所述光透过区域的光;
封装体,其具有在所述线上位于所述法布里-珀罗干涉滤波器的第2侧的开口,收纳所述法布里-珀罗干涉滤波器及所述光检测器;
光透过部,其包含使经由所述开口入射至所述光透过区域的光透过的带通滤波器;及
粘结构件,其相对于所述封装体的内表面固定所述光透过部,
自平行于所述线的方向观察的情况下,所述法布里-珀罗干涉滤波器的外缘位于较所述开口的外缘更靠近外侧的位置,所述光透过部的外缘位于较所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述外缘更靠近外侧的位置,
所述粘结构件包含在自平行于所述线的方向观察的情况下自所述光透过部的所述外缘朝外侧突出的部分,覆盖所述光透过部的光出射面的一部分的区域。
2.如权利要求1所述的光检测装置,其特征在于,
所述光透过部还包含设置有所述带通滤波器的光透过构件,
自平行于所述线的方向观察的情况下,所述光透过构件的外缘位于较所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述外缘更靠近外侧的位置。
3.如权利要求2所述的光检测装置,其特征在于,
自平行于所述线的方向观察的情况下,所述带通滤波器的外缘位于较所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述外缘更靠近外侧的位置。
4.如权利要求2或3所述的光检测装置,其特征在于,
所述光透过构件的厚度为所述法布里-珀罗干涉滤波器与所述光透过构件的距离乘以0.5后的值以上的值。
5.如权利要求2至4中任一项所述的光检测装置,其特征在于,
所述法布里-珀罗干涉滤波器具有支撑所述第1镜及所述第2镜的硅基板,
所述光检测器具有形成有光电转换区域的InGaAs基板。
6.如权利要求2至5中任一项所述的光检测装置,其特征在于,
所述带通滤波器设置于所述光透过构件的光出射面。
7.如权利要求2至6中任一项所述的光检测装置,其特征在于,
还具备:
引线接脚,其贯通所述封装体;及
导线,其将所述法布里-珀罗干涉滤波器的端子与所述引线接脚电连接。
8.如权利要求1所述的光检测装置,其特征在于,
所述带通滤波器的形状为多边形板状,
所述封装体具有:形成有所述开口的第1壁部;隔着所述法布里-珀罗干涉滤波器、所述带通滤波器及所述光检测器而与所述第1壁部相对的第2壁部;以及包围所述法布里-珀罗干涉滤波器、所述带通滤波器及所述光检测器的圆筒状的侧壁部,
所述粘结构件相对于所述第1壁部的内表面固定所述带通滤波器,
自平行于所述线的方向观察的情况下,所述带通滤波器的外缘位于较所述法布里-珀罗干涉滤波器的所述外缘更靠近外侧的位置。
9.如权利要求8所述的光检测装置,其特征在于,
还具备以封挡所述开口的方式配置于所述第1壁部的所述内表面的光透过构件,
所述带通滤波器通过所述粘结构件而固定于所述光透过构件的内表面,
所述粘结构件配置于与所述光透过构件的所述内表面相对的所述带通滤波器的光入射面的整个区域。
10.如权利要求8所述的光检测装置,其特征在于,
还具备以封挡所述开口的方式配置于所述第1壁部的所述内表面的光透过构件,
所述带通滤波器通过所述粘结构件而固定于所述光透过构件的内表面,
所述粘结构件未配置于与所述光透过构件的所述内表面相对的所述带通滤波器的光入射面中除了角区域的区域,而配置于所述角区域。
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