[发明专利]一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置在审
申请号: | 202110515163.3 | 申请日: | 2021-05-12 |
公开(公告)号: | CN113299596A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 刘一锋;张志强 | 申请(专利权)人: | 清华大学;清华大学山西清洁能源研究院 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人: | 杜权 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 结构 太阳能电池 热处理 装置 | ||
1.一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置,包括热处理装置本体(1)、卡接板(2)、内置腔(4)、加热丝(6)和内置槽(8),其特征在于:所述热处理装置本体(1)的内部设置有内置槽(8),且内置槽(8)的表面固定连接有若干个防滑垫(10),所述内置槽(8)的两侧壁上皆设置有卡接结构(9),所述热处理装置本体(1)的内部设置内置腔(4),且内置腔(4)的内部固定连接有加热丝(6),所述内置腔(4)顶端的热处理装置本体(1)内部设置有若干个第二透气孔(7),所述内置腔(4)下方的热处理装置本体(1)内部设置有若干个第一透气孔(5),所述第一透气孔(5)的两侧皆设置有推拉门(3)。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置,其特征在于:所述推拉门(3)在热处理装置本体(1)的内部活动连接,所述推拉门(3)底端的一侧设置有腔体(13),且腔体(13)的内部固定连接有磁铁(11),所述磁铁(11)下方的热处理装置本体(1)底端活动连接有卡接板(2),且卡接板(2)的一侧固定连接有钢板(12)。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置,其特征在于:所述卡接结构(9)包括推板(901)、连接弹簧(902)、伸缩杆(903)、连接板(904)以及伸缩腔(905),所述连接板(904)固定连接在内置槽(8)的侧壁上,所述连接板(904)远离内置槽(8)的一端固定连接有连接弹簧(902),且连接弹簧(902)的另一端固定连接有推板(901),所述推板(901)的下方设置有伸缩腔(905),且伸缩腔(905)的内部卡解忧伸缩杆(903),所述伸缩杆(903)的另一端与内置槽(8)的侧壁固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置,其特征在于:所述连接板(904)在内置槽(8)的表面设置有三个,且三个连接板(904)之间呈等间距分布。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置,其特征在于:所述防滑垫(10)在内置槽(8)的内部设置有两组,且两组防滑垫(10)子啊内置槽(8)表面的横向中轴线上呈中心对称分布。
6.根据权利要求2所述的一种薄膜结构太阳能电池的热处理装置,其特征在于:所述钢板(12)与卡接板(2)之间呈焊接连接,所述磁铁(11)与钢板(12)之间相吸附。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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