[发明专利]一种具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆

权利要求书

1.一种具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，包括外套杆、置于外套杆内的内拨杆和设于内拨杆一端的粗调机构，其特征在于：所述外套杆与内拨杆之间设有中空结构的真空内套杆，所述真空内套杆近粗调机构的一端设有伸缩旋钮机构，用于驱动真空内套杆在外套杆内做直线往复运动；所述真空内套杆的另一端设有环境隔绝伸缩盒，内拨杆的另一端设有置于环境隔绝伸缩盒内的可移动式探针，所述可移动式探针通过电学控制系统进行微调和电学测量。

2.根据权利要求1所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所述伸缩旋钮机构包括旋钮和旋转卡座，所述旋转卡座卡接于旋钮近可移动式探针端，所述真空内套杆的外壁设有与旋钮配合的螺纹，所述外套杆的端面设有与旋转卡座固定的连接凸台。

3.根据权利要求1所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所述环境隔绝伸缩盒包括样品安装座和套接于样品安装座外端的密封圈，所述样品安装座设有用于放置样品的样品安装位。

4.根据权利要求1所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所述外套杆上设有用于与TEM测角台孔相配合的限位销和外套杆密封圈，所述限位销实现了样品杆的传感定位，外套杆密封圈隔绝了TEM的内外空间，保持TEM内部的真空环境。

5.根据权利要求1所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所述内拨杆和真空内套杆均外套接有外接密封件。

6.根据权利要求1所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所述粗调机构包括套接于外套杆一端带有支点的外壳、X粗调旋钮、Y粗调旋钮和Z粗调旋钮；所述X粗调旋钮和Y粗调旋钮分布于外壳的侧壁，所述Z粗调旋钮设于外壳的顶端。

7.根据权利要求6所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所使X粗调旋钮、Y粗调旋钮和Z粗调旋钮均采用千分螺旋旋钮。

8.根据权利要求1所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所述可移动式探针包括依次固定的压电陶瓷管固定座、压电陶瓷管和探针；所述内拨杆与压电陶瓷管固定座固定。

9.根据权利要求1所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所述电学控制系统包括设有数据连接线的电学测量仪表和控制电学测量仪表的控制软件，所述电学测量仪表用于对可移动式探针施加电信号，所述控制软件用于人机交互操和数据记录及导出。

10.根据权利要求9所述的具备环境隔绝转移功能的TEM电学样品杆，其特征在于：所述可移动式探针设有双绞屏蔽铜丝，所述双绞屏蔽铜丝与数据连接线相连。