[发明专利]一种TPT版图的拆分验证方法、系统及存储器

说明书

本发明公开了一种TPT版图的拆分验证方法、系统及存储器，所述方法包括：步骤S1：根据原始版图构建抽象图；步骤S2：采用顶点度重构法对所述抽象图进行重构；步骤S3：如果△(G)≤2，则判断版图可以拆分，否则执行步骤S4，其中，△(G)为重构后的抽象图的最大顶点度；步骤S4：对重构后的抽象图进行降色处理；步骤S5：依次对降色处理后的各个节点的色号进行判断，若不存在色号为4的节点，则判断版图可以被拆分，否则判断版图不可以被拆分。采用本发明的技术方案，可提高验证TPT版图能否拆分的速度。

技术领域

本发明涉及集成电路的物理设计规则验证领域，尤其涉及一种TPT版图的拆分验证方法、系统及存储器。

背景技术

由于光刻技术的诸多因素（新的光源、光刻镜头、光刻胶）限制，单版图可以实现的最小特征尺寸已达到其极限。遵循摩尔定律，为满足芯片更小特征尺寸和不断提升的性能等要求，三重曝光图形技术(Triple Patterning Technology, 以下简称TPT)是未来较长一段时间内最实用的光刻工艺。随着设计的规模不断增大和越来越复杂，对EDA工具完成版图拆分速度和准确度要求越来越高，研究更加高效的算法成为必然。

对于版图拆分，从数学角度出发，TPT版图拆分可以归结为图论中的顶点着色问题，属于一种NP难问题。此类问题的标志性研究就是著名的“四色定理”，四色定理简单而言就是对一个平面地图进行着色，只需要四种颜色就可以使任意两个具有公共边界的两个国家颜色都不相同，而版图中任意两个间距小于最小工艺尺寸Xmin图形不能分布在同一版图上，等价于相邻国家不能标注为相同颜色。同时考虑版图实际绘制时的需要与所受到的限制， TPT版图拆分中由版图抽象出的抽象图（Graph）完全属于“四色定理”研究对象范围内。

在TPT版图拆分过程中，都是通过将实际版图转化为抽象图，通过验证能否使用三种颜色完成顶点上色来验证版图能否合理拆分，主要使用的方法可分为三类，分别为数学规划、图论方法、启发式算法。其中数学规划又包含ILP、SDP、LP；图论方法有最大独立集MIS、最短路径法以及FPT；而其中启发式算法由于其属于基于直观或者经验构造的算法，通过在局部找寻最优解最终实现全剧最优解，故而难以保证其最终解的质量，因而相关应用较少。目前实现Triple Pattern（以下简称为TP）拆分最常用的算法为ILP算法和SDP算法，其中相对而言SDP在高密度版图中速度较快。但随着版图中冲突数量的增加，以及为解决冲突需要插入分割线数目的增加，该类算法求解的时间会急剧增大，虽然可以通过调整算法复杂度使得时间消耗变为线性，但是所需要存储以及运算空间变得庞大，相当于用空间消耗换取时间开销的减小。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的验证TPT版图能否拆分时算法复杂求解时间长的技术问题，本发明提出一种TPT版图的拆分验证方法、系统及存储器。

本发明实施例中，提供了一种TPT版图的拆分验证方法，其包括：

步骤S1：根据原始版图构建抽象图；

步骤S2：采用顶点度重构法对所述抽象图进行重构：根据所述抽象图中的各节点的顶点度以及在所述抽象图中检测到的先后顺序，依次对各个节点的节点标号进行重新设置，并将每个节点上色为与其节点标号相等的色号；

步骤S3：如果△(G)≤2，则判断版图可以拆分，否则执行步骤S4，其中，△(G)为重构后的抽象图的最大顶点度；

步骤S4：对重构后的抽象图进行降色处理：依次从节点标号为2的节点开始，直到节点标号最大的节点，将每一节点的色号调整与相邻节点的色号不相等的最小值；

步骤S5：依次对降色处理后的各个节点的色号进行判断，若不存在色号为4的节点，则判断版图可以被拆分，否则判断版图不可以被拆分。

本发明实施例中，根据所述抽象图中的各节点的顶点度以及在所述抽象图中检测到的先后顺序，对各个节点的节点标号进行重新设置，包括：