[发明专利]有机发光显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种有机发光显示装置，包括：

在基板上的发光元件；以及

在所述发光元件上的封装单元，所述封装单元包括：

多个无机封装层，所述无机封装层中的至少一个包括：

多个无机绝缘层；和

在所述无机绝缘层之间的至少一个元件封装层，所述至少一个元件封装层包含疏水性元素和惰性元素中的至少一个；以及

在所述无机封装层之间的至少一个有机封装层，

其中，布置在所述无机绝缘层下的所述元件封装层使用所述疏水性元素和所述惰性元素中的任一个形成，而布置在所述无机绝缘层上的所述元件封装层使用所述疏水性元素和所述惰性元素中的另一个形成。

2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，还包括：

连接至所述发光元件的驱动薄膜晶体管；和

连接至所述驱动薄膜晶体管的开关薄膜晶体管，

其中所述驱动薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管中的至少一个包括包含氧化物半导体的有源层。

3.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中：

所述疏水性元素基于碳氟CF元素；以及

所述惰性元素包括Ar、He、N₂和Ne中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的有机发光显示装置，其中，所述碳氟CF元素包括CF₄和C₄F₈中的至少一种。

5.根据权利要求3所述的有机发光显示装置，还包括：

连接至所述发光元件的驱动薄膜晶体管；和

连接至所述驱动薄膜晶体管的开关薄膜晶体管，

其中所述驱动薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管中的至少一个包括包含氧化物半导体的有源层。

6.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述无机绝缘层包含硅氮化物SiN_x、硅氧化物SiO_x和氮氧化硅SiON中的一个或多个。

7.根据权利要求6所述的有机发光显示装置，还包括：

连接至有机发光元件的驱动薄膜晶体管；和

连接至所述驱动薄膜晶体管的开关薄膜晶体管，

其中所述驱动薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管中的至少一个包括包含氧化物半导体的有源层。

8.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中：

所述无机封装层中的所述无机绝缘层的总厚度为至

各元件封装层比相邻的无机绝缘层薄；并且

各元件封装层的厚度为至

9.根据权利要求8所述的有机发光显示装置，还包括：

连接至有机发光元件的驱动薄膜晶体管；和

连接至所述驱动薄膜晶体管的开关薄膜晶体管，

其中所述驱动薄膜晶体管和所述开关薄膜晶体管中的至少一个包括包含氧化物半导体的有源层。

10.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中：

所述有机封装层上的所述无机封装层的层结构相对于所述有机封装层与所述有机封装层下的所述无机封装层的层结构对称。

11.根据权利要求10所述的有机发光显示装置，其中：

所述有机封装层上的所述无机封装层具有其中布置在所述无机绝缘层下的所述元件封装层使用所述疏水性元素形成，而布置在所述无机绝缘层上的所述元件封装层使用所述惰性元素形成的层结构，以及

所述有机封装层下的所述无机封装层具有其中布置在所述无机绝缘层下的所述元件封装层使用所述惰性元素形成，而布置在所述无机绝缘层上的所述元件封装层使用所述疏水性元素形成的层结构。