[发明专利]一种超材料光学窗及其制备方法在审
申请号: | 202110475266.1 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN113517569A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 张龙;董红星;张阳;姜雄伟 | 申请(专利权)人: | 杭州光学精密机械研究所 |
主分类号: | H01Q17/00 | 分类号: | H01Q17/00;H01Q15/00;G02B5/00;G02B1/00 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 徐凯凯 |
地址: | 311400 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 材料 光学 及其 制备 方法 | ||
1.一种超材料光学窗,其特征在于,包括多个周期性排列的结构单元,每个结构单元均由透明介质基板、嵌入在所述透明介质基板上深表面的网柵透明谐振结构、以及嵌入在所述透明介质基板下深表面的透明金属网柵层组成。
2.根据权利要求1所述的超材料光学窗,其特征在于,所述网柵透明谐振结构与所述透明介质基板以及所述透明金属网柵层一体成型。
3.根据权利要求1所述的超材料光学窗,其特征在于,所述网柵透明谐振结构由相互连接的第一微金属网柵构成的十字环和相互连接的第二微金属网柵构成的十字架组成,所述十字架位于所述十字环中间部位。
4.根据权利要求3所述的超材料光学窗,其特征在于,所述第一微金属网柵和第二微金属网柵的形状独立地选自方格形、圆环形和菱形中的一种或多种。
5.根据权利要求3所述的超材料光学窗,其特征在于,所述第一微金属网柵和第二金属网柵的材料独立地选自金、银、铜、铝和氧化铟锡中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的超材料光学窗,其特征在于,所述透明金属网柵层由相互连接的第三微金属网柵组成。
7.根据权利要求6所述的超材料光学窗,其特征在于,所述第三微金属网柵的形状选择方格形、圆环形和菱形中的一种或多种。
8.根据权利要求6所述的超材料光学窗,其特征在于,所述第三微金属网柵的材料选自金、银、铜、铝和氧化铟锡中的一种或多种。
9.根据权利要求1所述的超材料光学窗,其特征在于,所述透明介质基板的材料选自石英玻璃,氟化物红外玻璃,硫化锌,有机玻璃,透明多聚物,蓝宝石和尖晶石中的一种或多种。
10.一种如权利要求1-9任一所述超材料光学窗的制备方法,其特征在于,包括步骤:
提供透明介质基板;
采用飞秒激光加工技术或准分子加工技术在所述透明介质基板的上、下表面分别刻蚀嵌入呈周期性排列的透明网柵谐振结构和透明金属网柵层,制得所述超材料光学窗。
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