[发明专利]一种半成品靶材背板的管理方法

说明书

本发明提供一种半成品靶材背板的管理方法，所述方法包括：对所述半成品靶材背板的导电率进行测试，并与检移票的成分进行比较；比较正确后将产品编号刻于所述半成品靶材背板；对所述半成品靶材背板依次进行清洗、干燥以及包装。所述管理方法可以避免生产过程中出现的半成品靶材背板的混淆隐患，保证产品质量，且所述管理方法高效简便，无需对现有生产工艺进行调整。

技术领域

本发明属于靶材制造领域，涉及一种半成品靶材背板的管理方法。

背景技术

溅射靶材背板(Sputtering Target Back Plate，BP)：金属溅射靶材是溅射沉积技术中用做阴极的材料。该阴极材料在溅射机台中被带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。由于金属溅射靶材往往是高纯的铝、铜、钛、镍、钽及贵金属等比较贵重的材料，所以在其制造时常常使用比较普通的材料来作为背板。背板起到支撑靶材、冷却、降低成本等作用，常用的材料有铝合金(ALBP)、铜合金(CUBP)等。现有技术中靶材背板在使用安装过程中对金属材料特性有非常高的要求，未热等静压焊接焊接前一但背板与Blank配合焊接材料成分未符合要求会导致产品报废，靶材一但出货使用性能和质量均存在风险。

CN102203314A公开了一种包含稀土金属或其氧化物的靶的保存方法，用于保存包含稀土金属或其氧化物的靶，在该靶的保存用容器或薄膜状的密封件中，引入与保存的包含稀土金属或它们的氧化物的靶相同的稀土金属的氧化物作为干燥剂，并将所述保存用的容器或薄膜状的密封件密封进行保存。该保存方法通过对包含稀土金属或其氧化物的靶的保存方法进行设计，提供抑制空气的侵入引起的靶的氧化和氢氧化而导致的粉化，从而可以长时间保存的技术。

CN102424134A公开了一种靶材的真空包装方法，包括：靶材装入包装袋，对包装袋进行第一次抽真空；向包装袋充入惰性气体；对包装袋进行第二次抽真空；将包装袋封口。进行第一次抽真空、第二次抽真空或充入惰性气体时，用压板压住所述包装袋的开口，仅留2～3mm的孔便于正好插入用于抽真空或充气的气阀。在进行第一次抽真空与充惰性气体，或充惰性气体与第二次抽真空的转换时，气阀关闭，使得包装袋被密封。该方法可以确保包装袋内没有容易引起靶材生锈或表面被氧化的空气。

然而，现有技术中已有对靶材以及背板的保存和包装方法，但是仍缺少对靶材与背板合理以及高效的管理方法。

发明内容

为解决现有技术中存在的技术问题，本发明提供一种半成品靶材背板的管理方法，所述管理方法可以避免生产过程中出现的半成品靶材背板的混淆隐患，保证产品质量，且所述管理方法高效简便，无需对现有生产工艺进行调整。

为达到上述技术效果，本发明采用以下技术方案：

本发明提供一种半成品靶材背板的管理方法，所述方法包括：

对所述半成品靶材背板的导电率进行测试，并与检移票的成分进行比较；

比较正确后将产品编号刻于所述半成品靶材背板；

对所述半成品靶材背板依次进行清洗、干燥以及包装。

本发明中，针对生产过程中可能会出现的检移票贴错、混淆或遗失的问题，检移票内部成分标记错误的问题，以及产品标签脱落的问题，在半成品靶材背板进行包装前，对半成品靶材背板进行电导率检测，以确认靶材与检移票数据的一致性，确保产品编号以及成分的准确。同时将产品编号刻于半成品靶材背板以替换传统的产品标签，在不影响半成品靶材背板的后续加工的同时避免了标签脱落对于生产小功率的影响。

作为本发明优选的技术方案，所述检移票记录所述半成品靶材背板的产品编号以及成分。

作为本发明优选的技术方案，所述比较的方法包括：将测得的所述半成品靶材背板的导电率数据，与所述产品编号以及成分的理论电导率进行比较。