[发明专利]一种半成品靶材背板的管理方法有效
| 申请号： | 202110453035.0 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113173284B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;于江花 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B65B31/00 | 分类号： | B65B31/00;B65B57/10;B65B63/00;C23C14/34;G01R27/02;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半成品 背板 管理 方法 | ||
1.一种半成品靶材背板的管理方法，其特征在于，所述方法包括：
对所述半成品靶材背板的导电率进行测试，并与检移票的成分进行比较；根据所述检移票记录的所述半成品靶材背板的产品编号以及成分，将测得的所述半成品靶材背板的导电率数据，与所述产品编号以及成分的理论电导率进行比较；
比较正确后将产品编号刻于所述半成品靶材背板；
对所述半成品靶材背板依次进行清洗、干燥以及包装。
2.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述产品编号刻于所述半成品靶材背板的边缘。
3.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述清洗为超声波清洗。
4.根据权利要求3所述的管理方法，其特征在于，所述超声波清洗时所述半成品靶材背板的焊接面朝向超声设备。
5.根据权利要求3所述的管理方法，其特征在于，所述超声波清洗的时间不低于10min。
6.根据权利要求3所述的管理方法，其特征在于，所述超声波清洗后吹干所述半成品靶材背板。
7.根据权利要求6所述的管理方法，其特征在于，所述吹干依次吹干所述半成品靶材背板的背面、边缘面以及焊接面。
8.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述干燥的温度为68～72℃。
9.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述干燥的压力为-0.09～0.1MPa。
10.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，干燥的时间不低于60min。
11.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述包装包括至少两层包装膜。
12.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述包装内部设置有干燥剂。
13.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述包装内部充氩气的次数不低于3次。
14.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述半成品靶材背板为经过精加工的靶材。
15.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述方法包括：
对经过精加工的半成品靶材背板的导电率进行测试，根据检移票记录的所述半成品靶材背板的产品编号以及成分，将测得的所述半成品靶材背板的导电率数据，与所述产品编号以及成分的理论电导率进行比较；
比较正确后将产品编号刻于所述半成品靶材背板边缘；
对所述半成品靶材背板依次进行超声波清洗、干燥以及包装；
所述超声波清洗时所述半成品靶材背板的焊接面朝向超声设备，时间不低于10min；所述超声波清洗后吹干所述半成品靶材背板，依次吹干所述半成品靶材背板的背面、边缘面以及焊接面；
所述干燥的温度为68～72℃，压力为-0.09～0.1MPa，时间不低于60min；
所述包装包括至少两层包装膜，所述包装内部设置有干燥剂，所述包装内部充氩气的次数不低于3次。
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B65B 包装物件或物料的机械，装置或设备，或方法；启封
B65B31-00 在特殊气氛或气体条件下包装物件或物料；将喷射剂加到气雾剂容器内
B65B31-02 . 将保持在真空或超大气压下，或含有特殊气氛，如惰性气体的室内容器的装料、封闭，或装料和封闭
B65B31-04 . 用通过管嘴抽出或加注空气或其他气体，如惰性气体的方法，给已装料的容器或包裹件抽气、或压缩、或充气
B65B31-10 . 将固体形式的喷射剂加入气雾剂容器内
B65B31-06 ..该管嘴安置成可插入已装料的容器口中和可从口中抽出，并与容器口的密封装置联合操作
B65B31-08 ..该管嘴适用于穿入容器或包裹料
