[发明专利]一种纳米锥光谱分析器件及光谱分析方法有效

专利信息
申请号: 202110451210.2 申请日: 2021-04-25
公开(公告)号: CN113175992B 公开(公告)日: 2023-01-06
发明(设计)人: 王军转;孙浚凯;施毅 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01J3/12 分类号: G01J3/12;G01J3/28;G01J3/42
代理公司: 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 代理人: 李培
地址: 210000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 光谱分析 器件 方法
【权利要求书】:

1.一种纳米锥光谱分析器件,其特征在于,包括衬底、平放于衬底上的纳米锥台及分布于所述纳米锥台上的一组电极;所述纳米锥台的顶半径记做r1,为入射光入射端口半径;所述纳米锥台的底半径记做r2,为纳米锥台的底端半径,所述纳米锥台的长度记做L;所述顶半径长度r1及底半径长度r2的数值均为数百纳米以内,长度L为数微米长,所述顶半径长度r1至多为底半径长度r2的二分之一。

2.根据权利要求1所述的一种纳米锥光谱分析器件,其特征在于:所述纳米锥台的材料为非晶硅、锗、氧化锌或硫化镉均匀单一的半导体材料。

3.一种纳米锥器件的光谱分析方法,采用权利要求1所述的纳米锥光谱分析器件,其特征在于,包括以下步骤:

第一步,在纳米锥台的光谱范围内,沿纳米锥台轴向从尖端耦合入射已确定且不同波长的入射光;

第二步,由于回音壁模式效应,纳米锥台利用自身腔模式,将不同波长的光吸收拘束在纳米锥台内沿轴线方向不同的位置上;

第三步,测量不同波长的光所在不同位置处的电流,得到纳米锥光谱分析器件的归一化响应谱R(λ);

第四步,将未知波长的待测光从纳米锥台尖端耦合入射,测量实际得到的光电流Ii,利用归一化吸收谱与器件实际测量得到的光电流Ii进行光谱重构,根据方程,即可重构确定入射光波长F(λ)。

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