[发明专利]具有增强Q因子的小横向激励的薄膜体声波谐振器

说明书

一种声波谐振器装置，包括一导体图案，在所述压电板的表面上形成。所述导体图案包括括一第一母线，一第二母线和叉指换能器(IDT)的n个交错的平行指状物，其中n为正整数。所述指状物从所述第一母线和所述第二母线交替延伸。第一个指状物和第n’个指状物设置在IDT的相对端。所述导体图案还包括一第一反射器元件，靠近并平行于所述第一个指状物；和一第二反射器元件，靠近并平行于所述第n’个指状物。当在所述第一母线和所述第二母线之间施加RF信号时，所述第一反射器元件与所述第一个指状物的电势基本相同，而所述第二反射器元件与所述第n’个指状物的电势基本相同。

版权和商标外观声明

本专利文件的部分公开内容含有受版权保护的材料。该专利文件可以显示和/或描述为或可以成为所有者的商标外观的事项。虽然版权和商标外观所有者因为专利公开出现在专利商标局文件或记录中而对任何人对专利公开进行传真复制无异议，但是其仍然保留版权和商标外观权。

相关申请的交叉引用

本专利要求以下临时专利申请的优先权：于2020年4月20日提交，申请号为63/012,849，题为“SAMLL HIGH Q XBAR RESONATORS”的专利申请；于2020年8月17日提交，申请号为63/066,520，题为“SAMLL FEFLECTORTS TO IMPROVE XBAR LOSS”的专利申请；以及2020年9月4日提交，申请号为63/074,991，题为“SMALL REFLECTORS TO IMPROVEPERFORMANCE OF TRANSVERSELY-EXCITED FILM BUILK ACOUSTIC RESONATORS ATASPECIFIED FREQUENCY”的专利申请。所有这些申请均通过引用并入本文。

技术领域

本公开涉及使用声波谐振器的射频滤波器，尤其涉及用于通信设备中的滤波器。

背景技术

射频(RF)滤波器是双端器件，其被配置为通过一些频率，阻止其它频率，其中“通过”意味着以相对低的信号损耗进行传输，而“阻止”意味着阻塞或基本上衰减。滤波器通过的频率范围称为滤波器的“通带”。由这种滤波器阻止的频率范围称为滤波器的“阻带”。典型的RF滤波器具有至少一个通带和至少一个阻带。通带或阻带的具体要求取决于具体应用。例如，“通带”可以定义为一个频率范围，其中滤波器的插入损耗小于诸如1dB、2dB或3dB的定义值。“阻带”可以定义为一个频率范围，其中滤波器的抑制大于定义值，例如20dB、30dB、40dB或更大的值，这取决于具体的应用。

RF滤波器用于通过无线链路传输信息的通信系统中。例如，RF滤波器可见于蜂窝基站、移动电话和计算设备、卫星收发器和地面站、物联网(IoT)设备、膝上型计算机和平板电脑、定点无线电链路和其它通信系统的RF前端中。RF滤波器也用于雷达和电子和信息战系统。

RF滤波器通常需要许多设计方面的权衡，以针对每个特定应用实现诸如插入损耗、拒绝、隔离、功率处理、线性、尺寸和成本之类的性能参数之间的最佳折中。具体的设计和制造方法和增强可以同时使这些要求中的一个或几个受益。

无线系统中RF滤波器的性能的增强可对系统性能产生广泛影响。可以通过改进RF滤波器来改进系统性能，例如更大的单元尺寸、更长的电池寿命、更高的数据速率、更大的网络容量、更低的成本、增强的安全性、更高的可靠性等。可以在无线系统的各个层面上单独或组合地实现这些改进，例如在RF模块、RF收发器、移动或固定子系统或网络层面实现这些改进。

用于当前通信系统的高性能RF滤波器通常结合声波谐振器，声波谐振器包括表面声波(SAW)谐振器、体声波BAW)谐振器、薄膜体声波谐振器(FBAR)和其他类型声波谐振器。但是，这些现有技术不适合在更高的频率下使用，而未来的通信网络需要用到更高的频率。