[发明专利]具有增强Q因子的小横向激励的薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.一种声波谐振器装置，包括：

一压电板；和

一导体图案，在所述压电板的表面上形成，所述导体图案包括：

一叉指换能器(IDT)，包括一第一母线，一第二母线和n个交错的平行指状物，其中n为正整数，其中所述指状物从所述第一母线和所述第二母线交替延伸，并且所述指状物包括，在IDT的相对端的第一个指状物和第n’个指状物；

一第一反射器元件，靠近并平行于所述第一个指状物；和

一第二反射器元件，靠近并平行于所述第n’个指状物，其中

当在所述第一母线和所述第二母线之间施加RF信号时，所述第一反射器元件与所述第一个指状物的电势基本相同，而所述第二反射器元件与所述第n’个指状物的电势基本相同。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述第一反射器元件和所述第一个指状物连接到所述第一母线和所述第二母线中的同一根母线上，并且

所述第二反射器元件和所述第n’个指状物连接到所述第一母线和所述第二母线中的同一根母线上。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述第一反射器元件电容性地耦合到所述第一个指状物，以及

所述第二反射器元件电容性地耦合到所述第n’个指状物。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述第一反射器元件与所述第一个指状物之间以及所述第二反射器元件与所述第n’个指状物之间的距离pr大于或等于IDT的间距p的1.2倍。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述第一反射器元件和所述第二反射器元件的标记mr被配置为以预定频率改善所述装置的Q因子。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述装置是具有通带的梯形带通滤波器电路中的并联谐振器，以及

选择mr以改善所述通带下边缘处的装置的Q因子。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述装置是具有通带的梯形带通滤波器电路中的串联谐振器，以及

选择mr以改善所述通带上边缘处的装置的Q因子。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述导体图案还包括：

一第三反射器元件，靠近并平行于所述第一反射器元件，所述第三反射器元件设置成使得所述第一反射器元件居中设置在所述第三反射器元件和所述第一个指状物之间；和

一第四反射器元件，靠近并平行于所述第二反射器元件，所述第四反射器元件设置成使得所述第二反射器元件居中设置在所述第四反射器元件和所述第n’个指状物之间。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，

所述第一反射器元件，所述第三反射器元件和所述第一个指状物连接到所述第一母线和所述第二母线中的同一根母线上，并且

所述第二反射器元件，所述第四反射器元件和所述第n’个指状物连接到所述第一母线和所述第二母线中的同一根母线上。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，

所述第一和第三反射器元件彼此连接并电容耦合至所述第一个指状物，以及

所述第二和第四反射器元件彼此连接并电容耦合至所述第n’个指状物。

11.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，

所述第一反射器元件与所述第一个指状物之间，所述第一反射器元件和所述第三反射器元件之间，所述第二反射器元件和所述第四反射器元件之间，以及所述第二反射器元件与所述第n’个指状物之间的距离pr大于或等于IDT的间距p的1.2倍。

12.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，

所述第一反射器元件，所述第二反射器元件，所述第三反射器元件和所述第四反射器元件的标记mr被配置为以预定频率改善所述装置的Q因子。