[发明专利]一种射频电极馈入装置在审
申请号: | 202110414503.3 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113517168A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 朱双双;刘强 | 申请(专利权)人: | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L31/18;C23C16/458;C23C16/505 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 张丹 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 射频 电极 装置 | ||
本发明涉及一种射频电极馈入装置,其包括:支撑组件,具有散热间隙;多个放置组件,沿第一方向布置于支撑组件上;每一放置组件包括设置于支撑组件的第一放置件和第二放置件,第一放置件和第二放置件分别位于散热间隙在第一方向上的两侧;及多个电极组件,电极组件与放置组件一一对应,每一电极组件均包括第一电极单元和第二电极单元,每一电极组件的第一电极单元和第二电极单元分别与对应放置组件的第一放置件和第二放置件相连。本发明的射频电极馈入装置,可以容纳多个石墨舟在支撑组件上,并通过多个电极组件配合多个放置组件,实现多个石墨舟的射频电极馈入,使一个镀膜设备的腔体能够容纳多个石墨舟,提高产能,降低单片电池片成本。
技术领域
本发明涉及光伏设备技术领域,特别是涉及一种射频电极馈入装置。
背景技术
随着太阳能发电的普及,相关的光伏产品需求量越来越大,因此对光伏设备的产能要求也越来越高,在此背景下企业亟需增加产能。然而,传统的射频电极馈入装置采用的是逐个的对石墨舟进行射频电极馈入的方式,生产效率较低,已经无法满足产能需求。
发明内容
基于此,有必要针对现有技术中需要逐个的对石墨舟进行射频电极馈入,生产效率较低,已经无法满足产能需求的问题,提供一种改善上述缺陷的射频电极馈入装置。
一种射频电极馈入装置,包括:
支撑组件,具有散热间隙;
多个放置组件,沿所述第一方向布置于所述支撑组件上;每一所述放置组件包括设置于所述支撑组件的第一放置件和第二放置件,所述第一放置件和所述第二放置件分别位于所述散热间隙在第一方向上的两侧;及
多个电极组件,与所述放置组件一一对应,每一所述电极组件均包括第一电极单元和第二电极单元,每一所述电极组件的所述第一电极单元和所述第二电极单元分别与对应所述放置组件的所述第一放置件和所述第二放置件相连。
在其中一个实施例中,所述支撑组件包括在所述第一方向上相对布设的第一支撑杆和第二支撑杆,所述第一支撑杆与所述第二支撑杆之间形成所述散热间隙,且均沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸;
所述多个放置组件的所述第一放置件沿所述第二方向间隔设置于所述第一支撑杆上;所述多个放置组件的所述第二放置件沿所述第二方向间隔设置于所述第二支撑杆上。
在其中一个实施例中,所述第一支撑杆与所述第二支撑杆为陶瓷杆。
在其中一个实施例中,所述第一放置件包括第一放置块和第二放置块,所述第一放置块和所述第二放置块沿所述第一方向间隔设置在所述第一支撑杆上;
所述第二放置件包括第三放置块和第四放置块,所述第三放置块和第四放置块沿所述第一方向间隔套设在所述第二支撑上;
每一所述第一电极单元与对应的所述第一放置块和/或所述第三放置块相连,每一所述第二电极单元与对应的所述第二放置块和/或所述第四放置块相连。
在其中一个实施例中,每一所述第一电极单元包括第一电极杆和与其相连的第一电极连杆,每一所述第一电极连杆连接对应的所述放置组件的所述第一放置块与所述第三放置块。
在其中一个实施例中,每一所述第二电极单元包括第二电极杆和与其相连的第二电极连杆,每一所述第二电极连杆连接对应的所述放置组件的所述第二放置块与所述第四放置块。
在其中一个实施例中,每一所述第一电极杆与每一所述第二电极杆均引出至所述第一支撑杆和所述第二支撑杆在所述第二方向上的同一端。
在其中一个实施例中,所述第一电极杆与所述第二电极杆上均套设有绝缘管。
在其中一个实施例中,所述第一支撑杆和所述第二支撑杆沿所述第一方向的两端均安装有固定座。
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