[发明专利]基板用通电装置

权利要求书

1.一种基板用通电装置，其特征在于，包括：

多个移送部，对基板进行移送并与所述基板通电，多个所述移送部能够接地；

等候部，配置于相邻的所述移送部之间并与所述基板通电，所述等候部能够接地；以及

处理部，对通过所述移送部投入的所述基板进行处理并与所述基板通电，所述处理部能够接地。

2.根据权利要求1所述的基板用通电装置，其特征在于，所述移送部包括：

移送主体部，进行接地；

移送工作部，在所述移送主体部中以能够移动的方式安装，并与所述移送主体部通电；以及

移送把持部，安装于所述移送工作部并与所述移送工作部通电，所述移送把持部对所述基板进行把持。

3.根据权利要求1所述的基板用通电装置，其特征在于，所述等候部包括：

等候基座部，进行接地；

等候托架部，连接于所述等候基座部的上侧并与所述等候基座部通电；以及

等候支承部，连接于所述等候托架部并支承所述基板，并且与所述等候托架部通电。

4.根据权利要求1所述的基板用通电装置，其特征在于，所述基板用通电装置还包括防带电部，所述防带电部向通过所述移送部移动的所述基板喷射防带电介质，以防止所述基板产生静电。

5.根据权利要求1所述的基板用通电装置，其特征在于，所述处理部包括：

腔室部，进行接地；

转轴部，安装于所述腔室部并与所述腔室部通电；

操作台部，安装于所述转轴部并旋转，并且与所述转轴部通电；

固定部，沿着所述操作台部的圆周方向安装有多个，并且与所述基板通电；以及

驱动部，使所述固定部旋转并与所述固定部通电，所述驱动部与所述操作台部通电。

6.根据权利要求5所述的基板用通电装置，其特征在于，所述腔室部包括：

腔室壳体部，进行接地；以及

腔室基座部，安装于所述腔室壳体部，并且与所述转轴部结合。

7.根据权利要求5所述的基板用通电装置，其特征在于，所述操作台部包括：

中心操作台部，与所述转轴部结合；

下部操作台部，与所述中心操作台部结合；

上部操作台部，与所述下部操作台部结合以覆盖所述下部操作台部的上部；以及

支承操作台部，沿着所述上部操作台部的圆周方向配置有多个，并且供所述基板放置。

8.根据权利要求5所述的基板用通电装置，其特征在于，所述固定部包括：

固定旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并通过所述驱动部的直线移动而旋转；以及

固定夹钳部，从所述固定旋转部的上侧突出，随着所述固定旋转部的旋转与所述基板的边缘紧贴或分离。

9.根据权利要求5所述的基板用通电装置，其特征在于，所述驱动部包括：

驱动调节部，配置于所述转轴部，并且能够调节上下长度；

驱动升降部，安装于所述操作台部，并且能够通过所述驱动调节部进行上下移动；

驱动旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并且通过所述驱动升降部的上下移动而旋转；以及

驱动连杆部，所述驱动连杆部的两端部与所述驱动旋转部和所述固定部连接，随着所述驱动旋转部进行旋转，推动所述固定部而使所述固定部旋转。

10.根据权利要求9所述的基板用通电装置，其特征在于，所述驱动调节部包括：

调节气缸部，内置于所述转轴部，所述调节气缸部的长度沿着上下方向被拉长或缩短；以及

调节销部，在所述调节气缸部的上侧形成为一个以上，通过插入于所述操作台部从而使所述驱动升降部进行上下移动。

11.根据权利要求9所述的基板用通电装置，其特征在于，所述驱动升降部包括：

升降下板部，内置于所述操作台部，通过插入于所述操作台部的所述驱动调节部而朝向上方移动；

升降侧板部，从所述升降下板部的内侧朝向上方延伸；

升降上板部，从所述升降侧板部朝向侧方延伸并以与所述升降下板部相对的方式配置；以及

升降复原部，放置于所述升降下板部，贯通所述升降上板部并弹性支承所述操作台部。