[发明专利]阳极氧化膜模具、探针半成品、探针卡及其制造方法

权利要求书

1.一种阳极氧化膜模具，在上、下方向上接合配置有贯通孔的单位阳极氧化膜片材，将各个所述单位阳极氧化膜片材的所述贯通孔彼此连通并在内部形成空间。

2.根据权利要求1所述的阳极氧化膜模具，其中所述阳极氧化膜模具的表面由所述单位阳极氧化膜片材的阻挡层形成。

3.根据权利要求1所述的阳极氧化膜模具，其中所述单位阳极氧化膜片材包括通过接合层接合的多个阳极氧化膜层。

4.一种探针半成品，包括：

阳极氧化膜模具，在上、下方向上接合配置有贯通孔的单位阳极氧化膜片材，将各个所述单位阳极氧化膜片材的所述贯通孔彼此连通并在内部形成空间；

导电性物质，配置在所述贯通孔中。

5.根据权利要求4所述的探针半成品，进一步包括：

导电性尖端，配置在所述导电性物质的表面。

6.一种探针卡，包括：

多层配线基板，由阳极氧化膜材质形成且包括垂直配线部及水平配线部，并在表面配置探针连接垫；以及

主体部，连接到所述探针连接垫且在整体上由相同金属材质连续形成。

7.一种阳极氧化膜模具的制造方法，包括以下步骤：

配置形成有贯通孔的单位阳极氧化膜片材；以及

在上、下方向上接合所述单位阳极氧化膜片材，以将各个所述单位阳极氧化膜片材的所述贯通孔彼此连通并在内部形成空间。

8.一种探针半成品的制造方法，包括以下步骤：

配置形成有贯通孔的单位阳极氧化膜片材；

在上、下方向上接合所述单位阳极氧化膜片材，以将各个所述单位阳极氧化膜片材的所述贯通孔彼此连通并在内部形成空间；

将由金属糊料或金属粉末形成的导电性物质从所述贯通孔的一侧开口推到另一侧开口进行批量填充。

9.根据权利要求8所述的探针半成品的制造方法，进一步包括以下步骤：

配置基础基板，所述基础基板形成有槽并在表面形成临时层后，对所述槽填充所述导电性物质以配置导电性尖端；

将所述基础基板的所述导电性尖端的一侧连接到所述贯通孔的所述导电性物质；以及

去除所述基础基板的所述临时层，以将所述导电性尖端的另一侧与所述基础基板分离。

10.一种探针卡的制造方法，包括以下步骤：

配置形成有贯通孔的单位阳极氧化膜片材并在上、下方向上接合所述单位阳极氧化膜片材，以将各个所述单位阳极氧化膜片材的所述贯通孔彼此连通并在内部形成空间，从而形成阳极氧化膜模具，之后将由金属糊料或金属粉末形成的导电性物质从所述贯通孔的一侧开口推到另一侧开口进行批量填充，以配置探针半成品；

由阳极氧化膜材质形成并在内部形成垂直配线部及水平配线部之后，在表面上配置探针连接垫，以配置多层配线基板；

使所述探针半成品位于所述多层配线基板的所述探针连接垫上侧，并将所述贯通孔所包括的所述导电性物质的一侧接合到所述探针连接垫；以及

去除除所述导电性物质以外的所述阳极氧化膜模具。