[发明专利]共用探测器的切尼特纳光谱仪及方法在审
申请号: | 202110398383.2 | 申请日: | 2021-04-14 |
公开(公告)号: | CN113091906A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 陈和;陈思颖;张寅超;郭磐;邓延宝;王立福 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02;G01N21/25 |
代理公司: | 北京前审知识产权代理有限公司 11760 | 代理人: | 张波涛;尹秀峰 |
地址: | 100089 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 共用 探测器 特纳 光谱仪 方法 | ||
1.一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其特征在于,其包括,
第一光谱仪,其生成第一波段光谱范围的M型光路,所述第一光谱仪包括,
第一入射单元,其入射第一入射光,
第一准直单元,其相对所述第一入射单元布置以将所述第一入射光平行照射到第一分光单元,
第一分光单元,其相对于所述第一准直单元布置以分光色散所述第一入射光,
第一聚焦单元,其相对于所述第一分光单元布置以将所述色散后的第一入射光聚焦到探测器;
第二光谱仪,其生成第二波段光谱范围的M型光路,所述第二光谱仪包括,
第二入射单元,其入射第二入射光,
第二准直单元,其相对所述第二入射单元布置以将所述第二入射光平行照射到第二分光单元,
第二分光单元,其相对于所述第二准直单元布置以分光色散所述第二入射光,
第二聚焦单元,其相对于所述第二分光单元布置以将所述色散后的第二入射光聚焦到探测器;
探测器,其相对于第一聚焦单元和第二聚焦单元,所述探测器共用于所述第一光谱仪和第二光谱仪。
2.如权利要求1所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其中,优选的,第一入射单元包括,
第一入射光纤,其导入第一入射光,
第一光纤适配器,其连接所述第一入射光纤,
第一聚焦透镜,其设在所述第一光纤适配器上以聚焦所述第一入射光,
第一狭缝,其设在所述第一聚焦透镜和第一准直单元之间使得所述第一入射光以预定光斑形状和预定光通量入射到所述第一准直单元;
第二入射单元包括,
第二入射光纤,其导入第二入射光,
第二光纤适配器,其连接所述第二入射光纤,
第二聚焦透镜,其设在所述第二光纤适配器上以聚焦所述第二入射光,
第二狭缝,其设在所述第二聚焦透镜和第二准直单元之间使得所述第二入射光以预定光斑形状和预定光通量入射到所述第二准直单元。
3.如权利要求1所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其中,第一准直单元和/或第二准直单元包括准直反射镜和支承所述准直反射镜的准直镜调整固定底座,所述准直反射镜口径为25mm到75mm,曲率半径为100到350。
4.如权利要求3所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其中,所述准直反射镜为球面反射镜。
5.如权利要求1所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其中,第一分光单元和/或第二分光单元包括平面反射光栅和支承所述平面反射光栅的光栅固定底座,平面反射光栅的光栅大小为12.7×12.7mm或者25×25mm或者50×50mm,刻密度为300、600、900、1200或者1800。
6.如权利要求1所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其中,第一聚焦单元和/或第二聚焦单元包括聚焦反射镜和支承所述聚焦反射镜的聚焦镜调整固定底座,聚焦反射镜口径为25mm到75mm,曲率半径为100到350。
7.如权利要求6所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其中,所述聚焦反射镜为球面反射镜。
8.如权利要求1所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其中,所述探测器包括CCD或CMOS传感器,或者PMT、APD光电探测器。
9.如权利要求1所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪,其中,第一波段光谱范围低于所述第二波段光谱范围。
10.一种利用权利要求1-9中任一项所述的一种共用探测器的切尼特纳光谱仪的调整方法,其包括以下步骤,
第一步骤,基于待探测的光谱波段,将两路光谱仪分为生成第一波段光谱范围的M型光路的第一光谱仪和生成第二波段光谱范围的M型光路的第二光谱仪,
第二步骤,仿真第一光谱仪和第二光谱仪以确定光学参数,搭建第一光谱仪和第二光谱仪的M型光路,
第三步骤,优化第一光谱仪和第二光谱仪使其像面在同一水平面,且位于同一位置,
第四步骤,第一入射光从第一光谱仪进行入射进行杂散光模拟分析,以及第二入射光从第二光谱仪进行入射进行杂散光模拟分析,分析光栅的0级、-1、-2级衍射光是否影响光路的接收,如果是,回到第二步骤重新调整,
第五步骤,公差分析第一光谱仪和第二光谱仪,最终得到第一光谱仪和第二光谱仪的次优化面确定共用探测器的切尼特纳光谱仪最终结构。
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