[发明专利]具有主动式底架支撑件的光刻设备

权利要求书

1.一种光刻设备，包括：

底架(BF)，构造成形成所述光刻设备的支撑结构，

主动式底架支撑件(ABS)，配置成将所述底架支撑在地面(GF)上，所述主动式底架支撑件包括水平压电致动器(HBSA)和水平压电力传感器(HBSA)，所述水平压电致动器配置成在所述底架上沿水平方向施加力，所述水平压电力传感器配置成用于测量所述底架上的水平力，

控制装置(C)，配置成驱动所述水平压电致动器，表示在所述底架上的力(F)的信号(FSI)被提供至所述控制装置，所述控制装置被配置成基于表示所述底架上的所述力的所述信号驱动所述水平压电致动器，

其中，表示所述底架上的所述力的信号包括所述水平压电力传感器的水平力传感器信号，并且其中，所述水平压电致动器和所述水平压电力传感器被垂直层叠。

2.根据权利要求1所述的光刻设备，其中表示在所述底架上的所述力的所述信号还包括所述支撑件的设定点信号(SPI)，所述控制装置包括设定点输入，所述支撑件的所述设定点信号被提供至所述控制装置的所述设定点输入，所述控制装置配置成基于所述设定点信号来驱动所述水平压电致动器。

3.根据权利要求2所述的光刻设备，其中所述控制装置配置成将所述支撑件的所述设定点用作前馈信号。

4.根据前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中，所述主动式底架支撑件还包括配置为在垂直方向上对所述底架施加力的垂直压电致动器(VBSA)和配置为测量所述底架上的垂直力的垂直压电力传感器(VBSS)。

5.根据权利要求4所述的光刻设备，其中，所述水平压电力传感器、所述垂直压电力传感器、所述水平压电致动器和所述垂直压电致动器被布置在叠层中。

6.根据前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述底架设置有配置成感测所述底架的加速度的加速度计(a)，表示所述底架上的所述力的所述信号包括所述加速度计的加速度计信号(ASI)，其中所述控制装置还包括加速度计输入端，所述加速度计的所述加速度计信号被提供至所述加速度计输入端，且其中所述控制装置配置成基于所述加速度计信号来驱动所述水平压电致动器。

7.根据权利要求6所述的光刻设备，其中所述加速度计被定位在所述主动式底架支撑件的附近的所述底架上。

8.根据前述权利要求中任一项所述的光刻设备，还包括处于所述光刻设备的结构或其附近的另一加速度计(FAS)，表示所述底架上的所述力的所述信号包括所述另一加速度计的输出信号，所述控制装置包括另一加速度计输入端，所述另一加速度计的所述输出信号被提供至所述控制装置的所述另一加速度计输入端，所述控制装置配置成响应于所述另一加速度计的所述输出信号来驱动所述水平压电致动器，以便减小所述结构的共振对所述底架的效应。

9.根据前述权利要求中任一项所述的光刻设备，还包括布置在从所述光刻设备的移动部分至所述底架的力的路径中的另一力传感器(FFS)，表示所述底架上的所述力的所述信号包括另一力传感器的输出信号，所述控制装置包括另一力传感器输入端，所述另一力传感器的所述输出信号被提供至所述控制装置的所述另一力传感器输入端，所述控制装置配置成响应于所述另一力传感器的所述输出信号来驱动所述水平压电致动器，以便减小所述力沿所述力的路径至所述底架的传播的效应。

10.根据前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述地面由地板形成，所述光刻设备还包括布置在所述地板处的地板加速度计(GFA)，表示所述底架上的所述力的所述信号包括所述地板加速度计的输出信号，所述控制装置包括地板加速度计输入端，所述地板加速度计的所述输出信号被提供至所述控制装置的所述地板加速度计输入端，所述控制装置配置成响应于所述地板加速度计的所述输出信号来驱动所述致动器，以便减小经由所述地板传播至所述底架的振动的传播的效应。