[发明专利]一种集成电路芯片检测设备及测试方法有效
申请号: | 202110383702.2 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN113064057B | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 陈益群;季学敏;蔡毅 | 申请(专利权)人: | 深圳群芯微电子有限责任公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01N3/02;G01N3/08;G01N21/95 |
代理公司: | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人: | 何兵;吕诗 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田区华强北街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 芯片 检测 设备 测试 方法 | ||
1.一种集成电路芯片检测设备,其特征在于,包括底座(1)和支架(12);所述底座(1)顶端上固接有放置座(11);所述支架(12)位于放置座(11)正上方的端面上固接有气缸(13);所述气缸(13)的伸缩杆上固接有固定板(14),且固定板(14)底端中心处固接有摄像头(15);所述固定板(14)底端固接有一对对称分布的压杆(16);所述放置座(11)内设置有探针(23);所述放置座(11)内开设有第一凹槽(2);所述第一凹槽(2)槽底通过弹簧固接有母板(24),且母板(24)上固接有一组探针(23);所述第一凹槽(2)槽底通过弹簧固接有移动块(21),且移动块(21)滑动连接在第一凹槽(2)侧壁上;所述移动块(21)顶端开设有放置槽(22),且放置槽(22)槽底相对于探针(23)位置处开设有一组导向孔(25);所述移动块(21)两侧侧壁上均开设有第一滑槽(26);所述第一凹槽(2)相对第一滑槽(26)的位置处固接有导向板(27),且导向板(27)为直角梯形板;所述放置槽(22)两侧侧壁上通过弹簧固接有调位板(29),且调位板(29)上固接有第一推杆(28);所述第一推杆(28)的一端贯穿放置槽(22)侧壁,伸入第一滑槽(26)内,且第一推杆(28)的端部为弧形端和导向板(27)的斜面相互接触;所述母板(24)两侧侧壁均开设有第二滑槽,且第二滑槽滑动连接在导向板(27)上。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片检测设备,其特征在于,所述导向孔(25)的侧壁上开设有开关件(3);所述开关件(3)包括第二凹槽(31);所述第二凹槽(31)开设在第一凹槽(2)槽底,且开设在导向孔(25)正上方;所述第二凹槽(31)和导向孔(25)侧壁通过通腔(32)连通;所述通腔(32)内转动连接有第一转动轴(33),第一转动轴(33)上固接有第一转动轮(34),且第一转动轮(34)为弧形轮;所述第二凹槽(31)侧壁上转动连接有第二转动轴,且第二转动轴上固接有第二转动轮(35);所述第二转动轴的半径和第一转动轴(33)的半径相等;所述第二转动轮(35)上固接有挡板(36);第一转动轴(33)和第二转动轴通过皮带传动。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路芯片检测设备,其特征在于,所述挡板(36)上开设有通槽(4);所述第二凹槽(31)槽底固接有半圆杆(41),且半圆杆(41)包围第二转动轮(35);所述挡板(36)通过通槽(4)滑动在半圆杆(41)上;所述半圆杆(41)上开设有波纹槽(42),且位于半圆杆(41)的顶端处为波纹槽(42)的凸槽;所述通槽(4)远离第二转动轮(35)的侧壁上通过弹簧固接有弧形块(43),且弧形块(43)滑动连接在半圆杆(41)上;所述挡板(36)远离第二转动轮(35)的端面上开设有第三凹槽(45),且第三凹槽(45)侧壁上滑动连接有推块(46),且推块(46)侧壁上设置有一组软毛刷(47);所述弧形块(43)和推块(46)通过连接杆(44)相互连接。
4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片检测设备,其特征在于,所述推块(46)侧壁上开设有第四凹槽(5),且第四凹槽(5)开口侧壁上固接有第一弹性曲膜(51),第一弹性曲膜(51)内凹,且第一弹性曲膜(51)和第四凹槽(5)形成密封腔;所述软毛刷(47)固接在第一弹性曲膜(51)外侧壁上;所述导向板(27)的斜面上固接有一组第一气囊(52);所述第一气囊(52)与第一弹性曲膜(51)和第四凹槽(5)形成的密封腔相互连通。
5.根据权利要求4所述的一种集成电路芯片检测设备,其特征在于,所述第三凹槽(45)侧壁上铰接有滚轮(53),铰接点具有扭簧,且滚轮(53)的一侧位于第三凹槽(45)内,另一侧位于挡板(36)外;所述滚轮(53)的位于第三凹槽(45)内的侧壁上固接有第三推杆(54),且位于挡板(36)外的侧壁固接有第四推杆(55);所述第四推杆(55)上固接有震动球(56);所述第三推杆(54)位于推块(46)靠近第三凹槽(45)槽底的一侧。
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