[发明专利]一种具有弯曲臂的电光调制器

权利要求书

1.一种具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，所述电光调制器包括光波导部分和电极部分，所述光波导部分包括输入光波导(1)、耦合器(2)、波导干涉臂(3、4)、输出光波导(5)；输入光波导(1)通过耦合器(2)与波导干涉臂的一端相连，输出光波导(5)通过耦合器(2)与波导干涉臂的另一端相连；所述电极部分包括信号极(6)和接地极(7)，信号极(6)用于传输调制信号，信号极(6)与接地极(7)之间形成调制电场；所述波导干涉臂(3、4)具有至少一个弯曲臂部分，所述电极部分以沿所述弯曲臂环绕或被所述弯曲臂环绕的方式进行设置。

2.根据权利要求1所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，所述波导干涉臂为多个，其中每个波导干涉臂均具有至少一个弯曲臂部分，波导干涉臂光程相同或者不同；优选的，多个波导干涉臂中的至少两个为交叉或者不交叉；更优选的，所述波导干涉臂包括第一波导干涉臂(3)和第二波导干涉臂(4)，其中两个波导干涉臂光程相同，第一波导干涉臂(3)和第二波导干涉臂为交叉或者不交叉。

3.根据权利要求1-2之一所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，所述波导干涉臂的弯曲臂部分整体上呈现弧形、扇形、锯齿形、方形、抛物线形或其他二次曲线形状。

4.根据权利要求1-3之一所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，所述波导干涉臂还包括多个平坦臂部分，所述弯曲臂部分和平坦臂部分依次首尾相连。

5.根据权利要求4所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，所述信号极(6)为多个平坦极，所述多个平坦极与多个平坦臂部分平行间隔设置，采用梳形排布以被多个弯曲臂环绕的方式进行设置；优选的，平坦臂部分光波的传输方向始终与平坦极微波的传输方向一致。

6.根据权利要求4所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，所述信号极(6)包括多个弯曲极与多个平坦极部分，所述弯曲极部分和平坦极部分依次首尾相连，所述多个平坦极部分与多个平坦臂部分平行间隔设置，多个弯曲极部分沿多个弯曲臂部分环绕分布设置；优选的，平坦臂部分光波的传输方向始终与平坦极部分微波的传输方向一致。

7.根据权利要求1-6之一所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，所述波导干涉臂的弯曲臂部分和/或所述信号极(6)中的弯曲极部分的尺寸可灵活调节；优选的，通过调整弯曲臂部分和/或弯曲极部分的曲率来实现尺寸的调节；更优选的，所述电极部分相对波导干涉臂的位置为可调整的设计。

8.根据权利要求5-7之一所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，所述接地极(7)也具有平坦接地极部分，其位于所述波导干涉臂相对信号极(6)或信号极(6)的平坦极部分的另一侧；优选的，多个接地极(7)为独立的或通过任意方式共同接地。

9.根据权利要求1-8之一所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于，电光调制器还包括衬底，衬底材料可以为硅、铌酸锂或者二氧化硅材料；光波导部分设置于衬底上方或者衬底内部；优选的，在所述光波导部分的下方和/或上方可镀其他材料的薄膜，以调节光波导中传输的光波模场大小。

10.根据权利要求9所述的具有弯曲臂的电光调制器，其特征在于：光波导部分设置在衬底上方时，电极部分可设置在波导干涉臂两侧的同一高度或者不同高度上；光波导部分设置在衬底内部时，电极部分可设置在衬底表面上与波导干涉臂两侧的不同高度上。