[发明专利]一种掩膜版框架重复使用的方法、掩膜版框架和掩膜版在审

专利信息
申请号: 202110378383.6 申请日: 2021-04-08
公开(公告)号: CN113088877A 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 晏利瑞 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C16/04;B23K31/02
代理公司: 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 代理人: 吴大建;陈敏
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜版 框架 重复使用 方法
【说明书】:

发明提供了一种掩膜版框架重复使用的方法、掩膜版框架和掩膜版,解决了掩膜版框架不能重复利用,导致工艺成本过高,且浪费资源的问题。所述掩膜版框架包括多条边框,每条所述边框包括X个焊接区域,其中X≥2;所述掩膜版框架重复使用的方法包括:第n次焊接张网,其中第n次焊接张网包括将待焊接张网焊接在所述边框的第m焊接区域,其中,n≥1,1≤m≤X;第n+i次焊接张网,i≥1,其中第n+i次焊接张网包括将待焊接张网焊接在第q焊接区域,1≤q≤X,且q不等于m;或,打磨第m焊接区域,将待焊接张网焊接在打磨后的所述第m焊接区域。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种掩膜版框架重复使用的方法、掩膜版框架和掩膜版。

背景技术

在柔性Oled(OrganicLight-Emitting Diode,有机发光二极管)器件的封装工艺中,掩膜版是最重要的一个器件之一,而掩膜版的耗费在各个工艺均占了极大的比重。OpenMask(开放式掩膜版)与CVD Mask(化学气相沉积掩膜版)的耗费主要由其制作成本决定,制作成本中掩膜版框架的费用又占了较高的比重,在工艺过程中掩膜版框架由于不能重复利用需要不断更换,导致工艺成本过高,且浪费资源。

发明内容

有鉴于此,本发明实施例提供了一种掩膜版框架重复使用的方法、掩膜版框架和掩膜版,解决了掩膜版框架不能重复利用,导致工艺成本过高,且浪费资源的问题。

本发明一实施例提供的一种掩膜版框架重复使用的方法包括:所述掩膜版框架包括多条边框,每条所述边框包括X个焊接区域,其中X≥2;所述掩膜版框架重复使用的方法包括:第n次焊接张网,其中第n次焊接张网包括将待焊接张网焊接在所述边框的第m焊接区域,其中,n≥1,1≤m≤X;第n+i次焊接张网,i=1,其中第n+i次焊接张网包括将待焊接张网焊接在第q焊接区域,1≤q≤X,且q不等于m;或,打磨第m焊接区域,将待焊接张网焊接在打磨后的所述第m焊接区域。

在一种实施方式中,所述打磨第m焊接区域,将待焊接张网焊接在打磨后的所述第m焊接区域的步骤包括:当所述第m焊接区域的厚度大于预设厚度时,所述第m焊接区域不再进行打磨。

在一种实施方式中,在所述第n+i次焊接张网的步骤之前还包括:从所述第m焊接区域去除所述第m焊接区域已经焊接的张网。

在一种实施方式中,所述第n+i次焊接张网包括将待焊接张网焊接在第q焊接区域的步骤包括:重复将待焊接张网焊接在第q焊接区域的步骤,直到所有焊接区域均被焊接过张网;之后再进行下一次焊接时,打磨第m焊接区域,将待焊接张网焊接在打磨后的所述第m焊接区域。

在一种实施方式中,所述打磨第m焊接区域,将待焊接张网焊接在打磨后的所述第m焊接区域的步骤包括:重复打磨所述第m焊接区域,将待焊接张网焊接在打磨后的第m焊接区域的步骤,直到所述第m焊接区域的厚度等于预设厚度;之后再进行下一次焊接时,将待焊接张网焊接在第q焊接区域。

在一种实施方式中,所述第m焊接区域位于所述边框的内侧,所述第q焊接区域位于所述边框的外侧。

在一种实施方式中,所述第q焊接区域位于所述边框的内侧,所述第m焊接区域位于所述边框的外侧。

在一种实施方式中,所述掩膜版框架重复焊接的次数F=X*(Y+1);其中,X为所述焊接区域的总个数;Y为每个所述焊接区域打磨到预设厚度的次数。

一种掩膜版框架,包括:多条边框,其中每条所述边框包括X个焊接区域,其中X≥2;所述X个焊接区域包括用于第n次焊接待焊接张网的第m焊接区域和用于第n+i次焊接待焊接张网的焊接区域,所述用于第n+i次焊接待焊接张网的焊接区域包括打磨后的所述第m焊接区域或第q焊接区域,其中1≤m≤X,1≤q≤X,且q不等于n,i=1,n=1;所述打磨后的所述第m焊接区域为第n次焊接待焊接张网后,去除所述第m焊接区域焊接的张网,并对去除了所述张网的所述第m焊接区域打磨得到。

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