[发明专利]二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器及制备方法在审
申请号: | 202110353075.8 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113097337A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 沈国震;胡楚乔;李腊;刘伟佳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L31/109 | 分类号: | H01L31/109;H01L31/0224;H01L31/0272;H01L31/0352;H01L31/0392;H01L31/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴梦圆 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二维 te 纳米 柔性 透明 红外 光电 探测器 制备 方法 | ||
1.一种二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,包括:
柔性衬底;
透明电极,位于所述柔性衬底之上;所述透明电极的材料为MXene-Ti3C2Tx;
二维Te纳米片,所述二维Te纳米片搭设在所述透明电极的正极和负极上,所述二维Te纳米片连通所述透明电极的正极和负极。
2.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述透明电极为叉指电极,所述叉指电极的沟道宽度为5-30μm。
3.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述二维Te纳米片横向尺寸为20-30μm,纵向尺寸为100-150μm;所述柔性衬底的尺寸为3×3cm至5×5cm。
4.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述透明电极的透明度大于等于60%。
5.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述柔性衬底材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯。
6.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述透明电极的厚度为50nm-100nm。
7.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器的波段范围为900nm-1350nm。
8.一种如权利要求1至7中任一项所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器的制备方法,包括:
依次用丙酮、乙醇超声清洗柔性衬底5-20min;
在清洗后的柔性衬底上涂覆光刻胶,通过光刻胶显影,得到刻蚀出电极图形的柔性衬底;
将具有MXene-Ti3C2Tx材料的溶液,转移到刻蚀出电极图形的柔性衬底,干燥处理后,在丙酮溶液中进行剥离,得到柔性的透明MXene-Ti3C2Tx电极;
制备二维Te纳米片;
将所述二维Te纳米片转移到柔性的所述透明MXene-Ti3C2Tx电极上,真空干燥后,所述二维Te纳米片搭设在所述透明MXene-Ti3C2Tx电极的正极和负极上,且所述二维Te纳米片连通所述透明MXene-Ti3C2Tx电极的正极和负极。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其中,所述制备二维Te纳米片包括:
将亚碲酸钠与聚乙烯吡咯烷酮在磁力搅拌的情况下加入到去离子水中形成均匀溶液;
再将氨水与水合肼依次缓慢加入到所述均匀溶液中,轻轻晃动使其充分混合至透明,得到透明溶液;
将所述透明溶液倒入聚四氟乙烯内衬的不锈钢高压釜中,在170-200℃下真空反应30-40小时后,使高压釜自然冷却至室温;
通过3000-5000转/分钟的速度离心5-10分钟后,得到固体产物沉淀;
再用去离子水清洗所述固体产物沉淀中其余的杂质离子直到所述固体产物沉淀变为银灰色并出现亮片,制得二维Te纳米片。
10.根据权利要求8所述的制备方法,其中,所述制备柔性的透明电极中采用的干燥处理为通过真空干燥箱进行干燥。
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