[发明专利]移相器及其制备方法、天线

权利要求书

1.一种移相器，其特征在于，包括衬底、间隔设置在所述衬底上的第一传输线和第二传输线以及至少一个相控单元，其中，所述至少一个相控单元中的每个包括传输线延伸部和膜桥，其中，所述传输线延伸部设置在所述衬底上，且位于所述第一传输线和第二传输线之间，并且所述传输线延伸部与所述第一传输线电连接；

所述膜桥位于所述传输线延伸部的远离所述衬底的一侧，并与所述传输线延伸部相对，且间隔设置，并且所述膜桥与所述第二传输线电连接；所述膜桥的一部分能够在所述第一传输线和第二传输线加载有不同的电压时移动，以改变与所述传输线延伸部的距离。

2.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述膜桥包括悬臂梁和支撑部，其中，所述悬臂梁位于所述传输线延伸部的远离所述衬底的一侧，并与所述传输线延伸部相对；所述支撑部连接在所述悬臂梁的一端与所述第二传输线之间，且使二者电导通；所述悬臂梁的另一端为自由端，且能够在所述第一传输线和第二传输线加载有不同的电压时移动，以改变与所述传输线延伸部的距离。

3.根据权利要求1或2所述的移相器，其特征在于，所述移相器还包括绝缘层，所述绝缘层设置在所述传输线延伸部上，且位于远离所述衬底的一侧，用以防止所述膜桥的一部分在沿靠近所述传输线延伸部的方向移动时与所述传输线延伸部电导通。

4.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述膜桥包括横跨梁、第一支撑部和第二支撑部，其中，所述横跨梁位于所述传输线延伸部的远离所述衬底的一侧，并与所述传输线延伸部相对；

所述移相器还包括绝缘层，所述绝缘层设置在所述传输线延伸部上，且位于远离所述衬底的一侧；所述第一支撑部连接在所述横跨梁的一端与所述绝缘层之间；所述第二支撑部连接在所述横跨梁的另一端与所述第二传输线之间，且使二者电导通；

所述横跨梁能够在所述第一传输线和第二传输线加载有不同的电压时，朝靠近所述传输线延伸部的方向弯曲。

5.根据权利要求1-2、4中任意一项所述的移相器，其特征在于，所述传输线延伸部与所述第一传输线同层设置。

6.根据权利要求1-2、4中任意一项所述的移相器，其特征在于，所述膜桥中设置有至少一个镂空部，所述镂空部沿垂直于所述衬底所在平面的方向贯通所述膜桥。

7.根据权利要求1-2、4中任意一项所述的移相器，其特征在于，所述移相器还包括第一偏置导线和第二偏置导线，所述第一偏置导线和第二偏置导线均设置在所述衬底上，且分别与所述第一传输线和所述第二传输线电连接，用以通过所述第一偏置导线和第二偏置导线分别向所述第一传输线和所述第二传输线加载不同的电压。

8.一种移相器的制备方法，其特征在于，包括：

在衬底上形成间隔设置的第一传输线和第二传输线，以及至少一个相控单元中的传输线延伸部；所述传输线延伸部位于所述第一传输线和第二传输线之间，且与所述第一传输线电连接；

在具有所述第一传输线、所述第二传输线和所述传输线延伸部的衬底上形成牺牲层；所述牺牲层用于在后续形成膜桥的步骤中支撑所述膜桥；

在具有所述牺牲层的衬底上形成所述膜桥；所述膜桥位于所述牺牲层的远离所述衬底的一侧，并与所述传输线延伸部相对，且间隔设置，并且所述膜桥与所述第二传输线电连接；所述膜桥的一部分能够在所述第一传输线和第二传输线加载有不同的电压时移动，以改变与所述传输线延伸部的距离；

剥离所述牺牲层。

9.根据权利要求8所述的移相器的制备方法，其特征在于，在所述在具有所述第一传输线、所述第二传输线和所述传输线延伸部的衬底上形成牺牲层之后，且在所述在具有所述第一传输线、所述第二传输线和所述传输线延伸部的衬底上形成牺牲层之前，还包括：

在所述传输线延伸部上，且位于远离所述衬底的一侧形成绝缘层，所述绝缘层用以防止所述膜桥的一部分在沿靠近所述传输线延伸部的方向移动时与所述传输线延伸部电导通。