[发明专利]一种不锈钢双极板及其制备方法有效
| 申请号： | 202110334823.8 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113097520B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 郑威;赵俊亮;张志宽;孙小卫 | 申请（专利权）人： | 深圳扑浪创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01M8/0206 | 分类号： | H01M8/0206;H01M8/0208;H01M8/0228;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街道甘李*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 不锈钢 极板 及其 制备 方法 | ||
1.一种不锈钢双极板，其特征在于，所述不锈钢双极板包括不锈钢基板和依次沉积的Cr膜、CrN膜和TiCN膜；
所述Cr膜的厚度为0.4-0.6μm；
所述CrN膜的厚度为0.8-1.1μm，以原子百分含量计包括：Cr 65-75%，N 25-35%；
所述TiCN膜的厚度为1.8-2.2μm，以原子百分含量计包括：Ti 45-55%，N 30-40%，C 10-20%；
所述Cr膜、CrN膜和TiCN膜的总厚度为3-3.4μm。
2.如权利要求1所述的不锈钢双极板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
（1）对不锈钢双极板样品依次进行第一清洗、抛光、第二清洗和干燥，得到不锈钢双极板基板；
（2）将步骤（1）得到的不锈钢双极板基板进行等离子体处理和镀膜，得到所述不锈钢双极板。
3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述第一清洗为依次采用除蜡清洗剂和除油清洗剂进行清洗。
4.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述抛光的方式包括电解抛光。
5.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述第二清洗的方式为超声清洗。
6.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述第二清洗中的清洗剂包括乙醇。
7.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述等离子体处理在保护气氛下进行。
8.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述保护气氛的气压为10-30Pa。
9.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述等离子体处理的时间为30-40min。
10.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述镀膜包括依次进行的镀Cr膜、CrN膜和TiCN膜。
11.如权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述镀Cr膜在气压为0.4-0.6Pa的惰性气氛下进行。
12.如权利要求11所述的制备方法，其特征在于，所述镀Cr膜中惰性气体的流量为250-350sccm。
13.如权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述镀Cr膜的温度为150-200℃。
14.如权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述镀Cr膜的时间为10-15min。
15.如权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述镀CrN膜在惰性气体和氮气的混合气氛下进行。
16.如权利要求15所述的制备方法，其特征在于，所述镀CrN膜中惰性气体的流量为150-250sccm。
17.如权利要求15所述的制备方法，其特征在于，所述镀CrN膜中氮气的流量为130-170sccm。
18.如权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述镀CrN膜的时间为30-45min。
19.如权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述镀TiCN膜在惰性气体、乙炔和氮气的混合气氛下进行。
20.如权利要求19所述的制备方法，其特征在于，所述镀TiCN膜中惰性气体的流量为150-250sccm。
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