[发明专利]玻璃板及其制造方法

权利要求书

1.一种玻璃板，其具有第一主表面和与所述第一主表面相反的第二主表面，所述第二主表面为形成电子构件的一侧，其中，

使用下述计算方法导出的、所述第一主表面的表面Si-OH基团密度为0(个/cm²)以上且8.7×10¹⁴(个/cm²)以下，

以氧化物基准的质量％表示，所述玻璃板的玻璃组成含有：

SiO₂：35％～73％、

Al₂O₃：5％～35％、

B₂O₃：0～30％、

MgO：0～20％、

CaO：0～30％、

SrO：0～30％、

BaO：0～40％、并且

MgO、CaO、SrO和BaO的合计：1％～55％、且实质上不含有碱金属氧化物，

计算方法

(i)对于作为试样的玻璃板的所述第一主表面，使用将试样与检测器所成的检测角度设定为15°的X射线光电子能谱法，测定Si、Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B的各原子浓度(原子％)，并通过下式(1)计算出以Si的原子浓度进行了归一化的表面Si-O-R键数(SiOR_surf)，R是指Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B，

SiOR_surf＝2×(S_Mg+S_Ca+S_Sr+S_Ba)+3×(S_Al+S_B)…(1)

式中，S_Mg、S_Ca、S_Sr、S_Ba、S_Al和S_B各自是指将Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B的各原子浓度以Si的原子浓度进行归一化而得到的值，

(ii)接着，对于所述第一主表面，使用C₆₀离子溅射沿深度方向切削所述玻璃板而使玻璃板内部露出，对于所述玻璃板内部，使用将检测角度设定为75°的X射线光电子能谱法，测定Si、Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B的各原子浓度(原子％)，并通过下式(2)计算出以Si的原子浓度进行了归一化的内部Si-O-R键数(SiOR_bulk)，

SiOR_bulk＝2×(B_Mg+B_Ca+B_Sr+B_Ba)+3×(B_Al+B_B)…(2)

式中，B_Mg、B_Ca、B_Sr、B_Ba、B_Al和B_B各自是指将Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B的各原子浓度以Si的原子浓度进行归一化而得到的值，

(iii)使用玻璃密度、玻璃板中的Si浓度、在所述(i)中计算出的所述表面Si-O-R键数(SiOR_surf)和在所述(ii)中计算出的所述内部Si-O-R键数(SiOR_bulk)，通过下式(3)～(5)计算出所述第一主表面的表面Si-OH基团密度(SiOH_surf)(个/cm²)，

D_Si＝(D×Si_mass％×6.02×10²³)/(100×28.09)…(3)

D_Si-surf＝(D_Si)^2/3…(4)

SiOH_surf＝(SiOR_bulk-SiOR_surf)×D_Si-surf…(5)

式中，D_Si是指玻璃板中的Si原子密度(个/cm³)，D是指玻璃密度(g/cm³)，Si_mass％是指玻璃板中的Si浓度(质量％)，D_Si-surf是指表面Si原子密度(个/cm²)。