[发明专利]一种面板检测的自动对焦控制方法和面板缺陷检测方法有效

专利信息
申请号: 202110305674.2 申请日: 2021-03-19
公开(公告)号: CN113219618B 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 王绍凯;黄新剑;王伟波;谭久彬 申请(专利权)人: 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院
主分类号: G02B7/09 分类号: G02B7/09;G02B7/28;G02B7/36;G01N21/88
代理公司: 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 代理人: 鲍丽伟
地址: 528400 广东省中山市翠亨新区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 面板 检测 自动 对焦 控制 方法 缺陷
【说明书】:

发明提供了一种面板检测的自动对焦控制方法及面板缺陷检测方法,所述面板检测的自动对焦控制方法包括:获取对焦位置;控制驱动电机在承载结构处运动,以使驱动电机和光学成像系统朝向对焦位置运动;获取第一位置检测装置的第一位置信息;根据第一位置信息判断第二位置检测装置是否符合运行要求;若是,则获取第二位置检测装置的第二位置信息,并根据第二位置信息和对焦位置控制驱动电机运动,以驱动光学成像系统进行对焦。本发明的有益效果:能够使光学成像系统对面板的对焦更加精确,进而能够对面板进行更加精确的检测。

技术领域

本发明涉及面板光学检测技术领域,具体而言,涉及一种面板检测的自动对焦控制方法和面板缺陷检测方法。

背景技术

在面板光学检测领域,随着生产检测要求越来越高,检测面板的最小分辨率要求2个像素以内。由于像素的需求,往往采用高放大倍率的光学成像系统。光学成像系统与面板之间的距离需要稳定控制在景深范围内,而高放大倍率的光学系统景深都很小,常见光学镜头景深±10μ,甚至有的要求±5μ,由于面板在检测设备上是实时运动状态,为保证光学系统与运动面板之间景深,需要对光学成像系统的位置进行调节,以实现较好的对焦效果。现有技术通常采用驱动电机驱动光学成像系统以进行特定行程的活动,以使光学成像系统到达对焦位置,进而实现对焦,但该方式调节精度较差,无法对对焦情况进行精确的控制。

发明内容

本发明解决的问题是如何使光学成像系统对面板的对焦更加精确。

为解决上述问题,本发明提供一种面板检测的自动对焦控制方法,应用于面板检测系统,所述面板检测系统包括承载结构、驱动电机、光学成像系统、第一位置检测装置和第二位置检测装置,所述驱动电机适于在所述承载结构处运动,所述光学成像系统与所述驱动电机连接,所述第一位置检测装置适于对所述驱动电机在所述承载结构处的位置进行检测,所述第二位置检测装置适于对所述光学成像系统的位置进行检测,所述面板检测的自动对焦控制方法包括:

获取对焦位置;

控制所述驱动电机在所述承载结构处运动,以使所述驱动电机和所述光学成像系统朝向所述对焦位置运动;

获取所述第一位置检测装置的第一位置信息;

根据所述第一位置信息判断所述第二位置检测装置是否符合运行要求;

若是,则获取所述第二位置检测装置的第二位置信息,并根据所述第二位置信息和所述对焦位置控制所述驱动电机运动,以驱动所述光学成像系统进行对焦。

进一步地,所述第二位置检测装置与所述光学成像系统连接;所述根据所述第一位置信息判断所述第二位置检测装置是否符合运行要求包括:

当所述第一位置信息与所述对焦位置相匹配,且所述第二位置检测装置的电压小于或等于预设电压时,则判定所述第二位置检测装置符合运行要求。

进一步地,所述第一位置信息为所述驱动电机在所述承载结构处相对所述驱动电机的初始位置的电机间距,所述对焦位置为所述光学成像系统相对于待测面板的对焦间距;所述判断所述第二位置检测装置是否符合运行要求还包括:

根据所述电机间距以及所述对焦间距判断所述第一位置信息是否与所述对焦位置相匹配,其中,当所述初始位置与所述待测面板的间距与所述电机间距的求差结果和所述对焦间距的差值小于或等于第一预设阈值时,则判定所述第一位置信息与所述对焦位置相匹配。

进一步地,所述第二位置信息为所述光学成像系统与所述待测面板的实际间距;所述根据所述第二位置信息和所述对焦位置控制所述驱动电机运动,以驱动所述光学成像系统进行对焦包括:

根据所述实际间距与所述对焦间距的差值控制所述驱动电机运动,直至所述实际间距与所述对焦间距的差值小于或等于第二预设阈值。

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