[发明专利]基板结构的制造方法、基板结构及显示面板

权利要求书

1.一种基板结构的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供基材(11)；

在所述基材(11)上方形成金属层(13)；

所述金属层(13)包括第一区域和第二区域，至少对所述第一区域的所述金属层(13)进行图案化处理；

在所述金属层(13)上形成保护层(15)，所述保护层(15)覆盖在所述金属层(13)上；

对所述保护层(15)进行图案化处理，以去除所述第二区域的所述保护层(15)，露出所述第二区域的所述金属层(13)；

对所述第二区域的所述金属层(13)进行最终的图案化处理；

所述基板结构的制造方法还包括：

在所述保护层(15)上形成电极层(17)，所述电极层(17)覆盖于所述第一区域的所述保护层(15)上以及所述第二区域的所述金属层(13)上。

2.如权利要求1所述的基板结构的制造方法，其特征在于，对所述第一区域的金属层(13)进行图案化处理的同时，还包括对所述第二区域的所述金属层(13)进行图案化处理，在所述第二区域形成预处理图案；在对所述第二区域的所述金属层(13)进行最终的图案化处理的过程中，包括对所述预处理图案进行图案化处理，得到目标图案。

3.如权利要求1所述的基板结构的制造方法，其特征在于，对所述第一区域的所述金属层(13)进行图案化处理的同时，还包括对所述第二区域的所述金属层(13)进行图案化处理，在所述第二区域形成辅助图案。

4.如权利要求1所述的基板结构的制造方法，其特征在于，所述金属层(13)至少包括第一金属层(132)和第二金属层(134)，所述第一金属层(132)位于所述基材(11)和所述第二金属层(134)之间，所述第一金属层(132)和所述第二金属层(134)的材料不同。

5.如权利要求4所述的基板结构的制造方法，其特征在于，所述第一金属层(132)由铝制成，所述第二金属层(134)由钼制成。

6.如权利要求1所述的基板结构的制造方法，其特征在于，对所述第一区域的所述金属层(13)进行图案化处理时，采用第一光罩对所述金属层(13)进行第一次曝光；对所述保护层(15)进行图案化处理时，采用第二光罩对所述保护层(15)进行曝光；对所述第二区域的所述金属层(13)进行最终的图案化处理时，采用第三光罩对所述金属层(13)进行第二次曝光。

7.如权利要求6所述的基板结构的制造方法，其特征在于，所述第一光罩上设有第一定位图案(31)，所述第一定位图案(31)包括第一部分(312)和第二部分(314)；所述第二光罩上设有第二定位图案(33)；所述第三光罩上设有第三定位图案(35)，所述第三定位图案(35)至少包括第三部分(352)；

其中，所述第二光罩通过所述第二定位图案(33)与所述第一定位图案(31)的所述第一部分(312)对应形成的图案对位，所述第三光罩通过所述第三定位图案(35)的所述第三部分(352)与第一定位图案(31)的所述第二部分(314)对应形成的图案对位。

8.一种基板结构，其特征在于，所述基板结构由权利要求1至7中任一项所述的基板结构的制造方法制作形成；

其中，所述基板结构包括依次叠设的基材(11)、金属层(13)、保护层(15)和电极层(17)，所述金属层(13)包括第一区域和第二区域，所述保护层(15)覆盖所述第一区域的所述金属层(13)，而将所述第二区域的所述金属层(13)露出，在所述第二区域，所述金属层(13)形成有目标图案，所述目标图案处无底切。

9.一种显示面板，包括相对设置的上基板和下基板，以及夹设于上基板和下基板之间的液晶层，其特征在于，所述上基板或所述下基板包括如权利要求8所述的基板结构。