[发明专利]一种PVDF压电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种PVDF压电薄膜，其特征在于：包括PVDF压电薄膜层（1），压电薄膜层的上表面具有凸出的压力感应微结构阵列（101），下表面具有凹型沟槽结构（102）；凹形沟槽结构（102）内填充导电材料（3），导电材料（3）通过导线（201）与控制模块（2）连接。

2.根据权利要求1所述的PVDF压电薄膜，其特征在于：凸出的压力感应微结构（101）的形状为棱锥、圆锥、圆台、半球体、圆柱、棱柱中的任何一种或两种及以上的组合。

3.根据权利要求2所述的PVDF压电薄膜，其特征在于：凸出的压力感应微结构（101）在PVDF压电薄膜上表面的排布方式为矩形、三角形、六边形、八边形、平行四边形中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的PVDF压电薄膜，其特征在于：凹型沟槽结构（102）填充的导电材料是纳米银颗粒、纳米银线、纳米金颗粒、纳米金线、纳米铜线、纳米铜颗粒、PH1000、石墨烯、碳纳米管中的任意一种或两种及以上的组合。

5.根据权利要求4所述的PVDF压电薄膜，其特征在于：凹型沟槽结构（102）的截面形状为矩形、V形、梯形、半圆形、五边形、六边形中的任意一种。

6.根据权利要求5所述的PVDF压电薄膜，其特征在于：凹型沟槽结构（102）槽口宽度尺寸为500nm~50μm，凹槽深度与槽口宽度比为0.1~10。

7.根据权利要求1所述PVDF压电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：根据产品需要，确定PVDF压电薄膜层上表面压力感应微结构和下表面凹型沟槽结构的形状、分布及尺寸，并在双面卷对卷热压机的道具辊和压力辊上进行相应设置；

步骤二：使用双面卷对卷热压机将PVDF压电薄膜（1）进行压印，形成上表面的压力感应微结构阵列（101）和下表面的凹型沟槽结构（102），压印完成后，将PVDF压电薄膜（1）从模具中剥离；

步骤三：使用刮涂设备或旋涂设备在下表面的凹型沟槽结构（102）中填入导电材料（3），并加热固化；

步骤四：将经过固化后的导电材料通过导线（201）与控制模块连接。