[发明专利]校准方法、校准装置、校准系统及计算机可读存储介质

说明书

本申请公开了一种校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质。校准方法包括：获取承载在运动平台上的工件的图像；识别图像中，工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件相对坐标轴的偏移信息；及根据偏移信息调整运动平台的运动参数，以使得工件位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。本申请实施方式的校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质中，由于预设的坐标轴是根据运动平台的中心建立的，则处理器或计算模块通过计算工件相对坐标轴的偏移信息，以使处理器或调整模块根据偏移信息调整运动平台的运动参数，从而使得工件位于预设位置，以保证工件加工的准确性。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，更具体而言，涉及一种校准方法、校准系统、校准装置及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

在工件制造过程中，如晶圆，会经过切片、圆边、研磨、蚀刻等多道工序以加工完成。当晶圆转变工序后，晶圆在放置在下道工序时，其位置可能并不在预设的用于加工的位置，导致后续进行加工时出现偏差，影响加工效果。因此，如何保证准确的将工件放置在加工的位置是亟需解决的问题。

发明内容

本申请实施方式提供一种校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的校准方法包括：获取承载在运动平台上的工件的图像；识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

本申请实施方式的校准装置包括获取模块、识别模块、计算模块及调整模块，所述获取模块用于获取承载在运动平台上的工件的图像；所述识别模块用于识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；所述计算模块基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及所述调整模块用于根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

本申请实施方式的校准系统包括运动平台、成像装置及处理器。所述运动平台用于承载工件。所述成像装置用于采集承载在所述运动平台上的所述工件的图像。所述处理器用于获取承载在所述运动平台上的所述工件的图像；识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

本申请实施方式的校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质中，由于预设的坐标轴是根据运动平台的中心建立的，则处理器或计算模块通过计算工件相对坐标轴的偏移信息，以使处理器或调整模块根据偏移信息调整运动平台的运动参数，从而使得工件位于预设位置，以保证工件加工的准确性。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；

图2是本申请某些实施方式的校准系统的结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的校准装置的结构示意图；

图4是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；

图5是本申请某些实施方式的拟合图像和预设坐标系存在偏移距离的示意图；

图6是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；